在化學(xué)，電子，電力，金屬和其他工業(yè)中，為了實(shí)現(xiàn)各種材料的保護(hù)或裝飾，通常使用噴涂，有色金屬覆蓋，磷化和陽極氧化。這樣，涂層，鍍層，覆層，粘貼或化學(xué)產(chǎn)生的膜的概念被稱為“涂層”。包層的厚度測量已成為金屬加工行業(yè)用戶進(jìn)行成品質(zhì)量檢查所需的重要過程，并且是滿足高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的手段。目前，涂層的厚度通常根據(jù)國內(nèi)外統(tǒng)一的國際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測量。隨著材料物理性能研究的逐步發(fā)展，涂層的無損檢測方法和儀器的選擇變得越來越重要。
一六測厚儀的基本工作原理是，當(dāng)測量頭與被測圖案接觸時(shí)，測量頭裝置產(chǎn)生的高頻電磁場會(huì)使測量頭下方的金屬導(dǎo)體產(chǎn)生渦流，其幅度和相位是導(dǎo)體和探頭之間非導(dǎo)電涂層厚度的函數(shù)。即，由渦電流產(chǎn)生的交變電磁場將改變探針參數(shù)，并且探針參數(shù)變量的大小以及電信號(hào)轉(zhuǎn)換處理可以獲得待測涂層的厚度。那么，影響其測量精度的原因是什么呢？
1、當(dāng)覆蓋層的厚度大于25μ時(shí)，誤差大約與覆蓋層的厚度成正比；
2、金屬的電導(dǎo)率對測量有影響，它與金屬材料的組成和熱處理方法有關(guān)；
3、一六測厚儀要求母材具有臨界厚度，只有厚度大于該厚度時(shí)，測量才不會(huì)受到母材厚度的影響；
4、測厚儀在圖案測量上有一個(gè)邊緣，即在圖案的邊緣或內(nèi)角附近的測量是不可靠的；
5、樣品的曲率對測量有影響，并且隨著曲率半徑的減小，這種影響將顯著增加；
6、母材和覆蓋層的表面粗糙度影響測量的準(zhǔn)確性和粗糙度，影響會(huì)增加；
7、一六測厚儀對防止探針接觸覆蓋層表面的粘附物質(zhì)敏感，因此在測量之前應(yīng)清除探針和覆蓋層表面上的污垢；保持探頭和測試表面在恒定壓力下垂直接觸。
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