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電容式真空壓力計760系列

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更新時間:2018-05-14 09:00:00瀏覽次數:444次

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的熱穩定性
■ 出眾的EMI/RFI 性能
■ 低價位
■ 小巧緊湊的結構
■ 耐腐蝕的Inconel® 部件
■ 多種壓力和電氣連接方式
■ 符合CE 標準

半導體過程工具和裝置
■ 實驗室和研究開發
■ 實驗和測量
■ 度量
■ 分析化學系統

Setra Model 760 電容壓力計是為精確的、可重復的真空測量而設計的壓力傳感器。滿量程范圍從10Torr 到1000Torr。測量單位可以是Torr,mbar/hpa,kpa 或psia。Model 760 的工作電壓是15VDC,輸出0~10VDC 或0~5VDC,輸出與壓力成線性關系,而且與氣體成分無關。電氣連接件可以是工業標準15 針D 型插座或6 位接線端子板。采用金屬外殼、巨涌和ESD 抑制元件以及輸入輸出的RFI 過濾等技術,Model 760 具有的EMI/RFI 性能。


Model 760 有一個完整的滑面,很容易提供有精確的零點調節和量程調節的多匝電位計。Inconel® 材質適用于全部濕原料所以可測量腐蝕性氣體,另外可提供不同類型的壓力和真空接頭。Model 760 中高精度的壓力傳感元件Vactronsensor,是在Setra 技術可變電容傳感技術基礎上發展來的。在敏感元件*有一個饋入裝置組件支持一個鄰近膜片后表面的圓電極。電極和膜片在一個低壓接近真空的空間內組成了一個可變電容。這一電容的變化被Setra *的集成電路檢測并被轉換成高精度的線性直流信號,該集成電路是根據西特技術負荷平衡原理設計的。Model 760 采用革新的傳感設計獲得了的零點穩定性和大氣壓非敏感性。

Model 760 傳感器包含了不易脆的或合成的部件,形成了與陶瓷式結構相似的電容式壓力計。

 
   

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