1、基體金屬磁性質會影響測量值精度，熱處理和冷加工因素的影響都會產生影響，所以使用與試件基體金屬具有相同性質的標準片對涂層測厚儀進行校準。
2、基體金屬厚度也會影響測量值精度，不應小于涂層測厚儀基體金屬的臨界厚度。
3、基體金屬的電導率也會對其產生影響，因此與試件基體金屬具有相同性質的標準片是校準儀器是選擇要求。
4、在靠近試件邊緣或內轉角處進行測量會影響測量精度，試件的曲率對測量有影響，彎曲試件的表面上測量精度也會受影響。
5、軟覆蓋層試件在測量中可能會變形，因此也會影響精度。基體金屬和覆蓋層的表面粗糙儀程度越大，對測量精度的影響也就越大。
6、周圍各種電氣設備所產生的強磁場、妨礙測頭與覆蓋層表面緊密接觸的附著物質、測頭置于試件上所施加的壓力大小以及測頭的防止方式，都會測量精度產生影響。因此操作涂層測厚儀時，遠離強磁場、清除附著物質、保持壓力恒定以及使測頭與試樣表面保持垂直，來確保測量值的精度。
