粗糙度輪廓儀是通過儀器的觸針與被測表面的滑移進行測量的，是接觸測量。其主要優點是可以直接測量某些難以測量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某種評定標準讀數或是描繪出表面輪廓曲線的形狀，且測量速度快、結果可靠、操作方便。但是被測表面容易被觸針劃傷，為此應在保證可靠接觸的前提下盡量減少測量壓力。
粗糙度輪廓儀按傳感器的工作原理分為電感式、感應式以及壓電式多種。儀器由傳感器、驅動箱、電器箱等三個基本部件組成。
傳感器的觸針由金剛石制成，針尖圓弧半徑為2微米，在觸針的后端鑲有導塊，形成一條相對于工件表面宏觀起伏的測量的基準，使觸針的位移僅相對于傳感器殼體，所以導塊能起到消除宏觀幾何形狀誤差和減小紋波度對表面粗糙度測量結果的影響。傳感器以鉸鏈形式和驅動箱連接，能自由下落，從而保證導塊始終與被測表面接觸。
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