平行平晶是利用光波干涉現象測量平面度誤差的，故其測量方法稱為平晶干涉法,也稱技術光波干涉法。在測量的時候,把平行平晶放在被測表面上,且與被測表面形成一個很小的楔角 θ，以單色光源照射時會產生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關。如果入射光線垂直于被測表面，并且平晶與被測表面間的間隙很小,則由平晶測量面P反射的光線與被測表面反射的光線在測量面 P發生干涉而出現明或暗的干涉條紋。若在白光下，則會出現彩色干涉條紋。如果干涉條紋平直，相互平行,并且分布均勻,則會表示被測表面的平面度很好；如果干涉條紋彎曲，則會表示平面度 不好。其誤差值為f= (v/ω)×(λ/2)
λ為光波波長，白光的平均波長為0.58μm,ν為干涉帶彎曲量，ω為干涉帶間距。
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