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REXROTH伺服閥工業運用場合的不斷擴大，某些價格研制出了專門使用于工業場合的工業伺服閥。如Moog公司就在1963年推出了*款專為工業場合使用的73系列伺服閥產品。隨后，越來越多的專為工業用途研制的伺服閥出現了。它們具有如下的特征：較大的體積以方便制造；閥體采用鋁材（需要時亦可采用鋼材）；獨立的*以方便調整及維修；主要使用在14MPa以下的低壓場合；盡量形成系列化、標準化產品。然而Moog公司在德的分公司卻將其伺服閥的應用場合主要集中在壓場合，一般工作壓力在21MPa，有的甚到35MPa，這就使閥的設計專重于壓下的使用可靠性。而隨著伺服閥在工業場合的廣泛運用，各公司均推出了各自的適合工業場合用的比例閥。其特點為低成本，控制雖比不上伺服閥，但通過進的控制技術和進的電子裝置以彌補其不足，使其性能和功效逼近伺服閥。
REXROTH伺服閥、連桿機構、變量柱塞泵和馬達（如用在行走機構中為行走馬達，如用在振動機構中為振動馬達）組成。在控制線圈15無輸入電流時，通過調節調零彈簧16，使閥芯處于零位，此時，ps腔和r腔、a腔和b腔互不相通。且a、b兩腔的壓力相等，兩個控制液壓缸7在復位彈簧的作用下，將斜盤11的傾角α變為0o，此時變量西半球塞泵無油液輸出，馬達8不工作；如果控制線圈15輸入一電流信號，則電流伺閥輸出一定的流量，設a腔為輸出油腔，b腔為回油腔（如圖1所示），與a腔相通的控制液壓缸7推動斜盤轉動一個角度，斜盤通過連桿機構12進行反饋，拉動調零彈簧16，使閥芯回到零位。此時，斜盤便平衡在某一設定角度，馬達以一定的速度的扭矩工作，當輸入到控制線圈的信號發生變化時，馬達的速度也隨之改變。
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REXROTH伺服閥是早期伺服閥的結構型式，它的—是雙噴噴擋板閥，是滑閥，閥芯兩端各有一根對中彈簧。當控制電流輸入時，閥芯在對中彈簧作用下處于中位。當有控制電流輸入時，對中彈簧力與噴嘴擋板閥輸出的液壓力相平衡，使閥芯取得一個相應的位移，輸出相應的流量。
REXROTH伺服閥屬于開環控制、其性能受溫度、壓力及閥內部結構參數變化的影響較大；銜鐵及擋板的位移都較大．對力矩馬達的線件要求較；對中彈簧要求體積小、剛度大、抗疲勞，因此制造困難；兩端對中彈簧由于制造和安裝的誤差．易對閥芯產生側向卡緊力．增加閥芯摩擦力．使閥的滯環增大，分辨率降低。但由于結構簡單、造價低，可適用于—般的、性能要求不的電液伺服系統。
REXROTH伺服閥既是電液轉換元件，又是功率放大元件，它能夠把微小的電氣信號轉換成大功率的液壓能（流量和壓力）輸出。它的性能的劣對系統的影響很大。因此，它是電液控制系統的核心和關鍵。為了能夠正確設計和使用電液控制系統，必須掌握不同類型和性能的電液伺服閥。REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥￥REXROTH伺服閥#力士樂伺服閥#@@##39529830REXROTH伺服閥輸入信號是由電氣元件來完成的。電氣元件在傳輸、運算和參量的轉換等方面既快速又簡便，而且可以把各種物理量轉換成為電量。所以在自動控制系統中廣泛使用電氣裝置作為電信號的比較、放大、反饋檢測等元件；而液壓元件具有體積小，結構緊湊、功率放大倍率，線性度，死區小，靈敏度，動態，響應速度快等，可作為電液轉換功率放大的元件。因此，在一控制系統中常以電氣為“神經”，以機械為“骨架”，以液壓控制為“肌肉”Z大限度地發揮機電、液的長處。
REXROTH伺服閥的種類很多，但各種伺服閥的工作原理又基本相似，其分析研究的方法也大體相同，故今以常用的力反饋兩電液伺服閥和位置反饋的雙滑閥式伺服閥為重點，討論它的基本方程、傳遞函數、方塊圖及其特性分析。其它伺服閥只介紹其工作原理，同時也介紹伺服閥的性能參數及其測試方法。REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥￥REXROTH伺服閥#力士樂伺服閥
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REXROTH伺服閥的結構和原理如圖28所示，無信號電流輸入時，銜鐵和擋板處于中間位置。這時噴嘴4二腔的壓力pa=pb，滑閥7二端壓力相等，滑閥處于零位。輸入電流后，電磁力矩使銜鐵2連同擋板偏轉θ角。設θ為順時針偏轉，則由于擋板的偏移使pa＞pb，滑閥向右移動?；y的移動，通過反饋彈簧片又帶動擋板和銜鐵反方向旋轉（逆時針），二噴嘴壓力差又減小。在銜鐵的原始平衡位置（無信號時的位置）附近，力矩馬達的電磁力矩、滑閥二端壓差通過彈簧片作用于銜鐵的力矩以及噴嘴壓力作用于擋板的力矩三者取得平衡，銜鐵就不再運動。同時作用于滑閥上的油壓力與反饋彈簧變形力相互平衡，滑閥在離開零位一段距離的位置上定位。這種依靠力矩平衡來決定滑閥位置的方式稱為力反饋式。如果忽略噴嘴作用于擋板上的力，則馬達電磁力矩與滑閥二端不平衡壓力所產生的力矩平衡，彈簧片也只是受到電磁力矩的作用。因此其變形，也就是滑閥離開零位的距離和電磁力矩成正比。同時由于力矩馬達的電磁力矩和輸入電流成正比，所以滑閥的位移與輸入的電流成正比，也就是通過滑閥的流量與輸入電流成正比，并且電流的極性決定液流的方向，這樣便滿足了對電液伺服閥的功能要求。REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥#REXROTH伺服閥￥REXROTH伺服閥#力士樂伺服閥#@@##39529830