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FPD/LSI半導體檢查顯微鏡

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間:2025-01-02 07:54:31瀏覽次數(shù):49次

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金相設(shè)備

集尼康光學技術(shù)于一身的CFI60光學系統(tǒng),在亮度、對比度和可操作性能方面都達到新的高度,適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查。觀察樣品:≤Ø300 mm晶片,觀察倍率15X~3000X(視目鏡和物鏡的組合而定);
●電動鏡頭旋轉(zhuǎn)及光圈電動控制
●具明視野.暗視野.干涉相位差.偏光等功能選擇
●基座本體一體成型,加強防震效果,Z軸調(diào)焦1格1um
●目鏡筒可針對user高度上下調(diào)整角度,并外接CCD Camera或數(shù)字相機,將影像儲存及傳輸
●目鏡有標準10X(FN22)or超廣角10X(FN25)供選擇

增強的觀察、耐用性和操作性能,以及顯微鏡和數(shù)碼相機之間改進的功能,提供了理想的成像效果

增強觀測性能

Epi熒光觀察拓寬了檢測范圍(L300N/L300ND/L200ND)
·L300N/L300ND/L200ND能夠進行立體照明,并提供各種觀察方法,如明場、暗場、簡單偏振和DIC。它還采用Epi熒光觀察,包括365 nm紫外激發(fā)。
·對檢測半導體抗蝕劑殘留物和有機電致發(fā)光顯示器非常有益。
物鏡:CFI60-2 TU Plan Fluor 10x

用于Epi熒光觀察的電動汞素光纖照明控制增強器(L300N/L300ND/L200ND)
·采用電動控制汞素預對中光纖照明器。
·即使在更換燈后,也不需要調(diào)整燈的對中和焦點。
·光源可以遠離顯微鏡,減少顯微鏡附近的熱量,防止散焦。
·可變光強度和快門控制提供了的靈活性。
·該燈的平均壽命為2000小時。

 
比常規(guī)Dia觀測亮度高四倍(僅L300ND)
·L300ND采用了一種新光源和的光學器件,為立體觀察提供了四倍于原來亮度的照明。
 
CFI60-2光學器件提供長工作距離和高NA
·尼康原裝CFI60-2光學鏡頭通過高NA和更寬的采樣范圍提供圖像亮度,以及具有長工作距離。
·通過弱小化光斑,提供清晰、高對比度的亮場圖像。
·“飛眼”透鏡陣列可在整個視野中提供均勻照明,用于暗場照明光學系統(tǒng),可獲得非常明亮的高分辨率暗場圖像。


高強度12V-50W鹵素照明器比標準12V-100W照明器更亮
·采用LV-LH50PC前置燈箱,其亮度比12V-100W照明器更高,功耗為一半。
·采用燈罩后視鏡并優(yōu)化燈絲尺寸,可在瞳孔平面上實現(xiàn)有效且均勻的照明,這在光學系統(tǒng)中至關(guān)重要。與標準12V-100W照明器相比,放大50倍或更高的物鏡可提高20%的亮度。
·采用環(huán)保設(shè)計,減少熱引起的散焦。


電動通用鼻輪比傳統(tǒng)機型耐用三倍
• 多可安裝六個物鏡。
•可在三個鼻輪位置(僅L300N/L300ND)使用定心機構(gòu)。
•即使在高放大率下,改進的中心度也可以≤限度地減少物鏡改變時的圖像偏移。這使得從高到低的放大率可以進行穩(wěn)定的觀察。
•為了保護操作員的眼睛,當鼻輪旋轉(zhuǎn)時,防閃光機構(gòu)接合。

抗靜電涂層可有效防止污染
·防靜電涂層已應(yīng)用于機身、載臺、目鏡管和其他各種控制裝置。這些涂層加強了對污染的防護,有助于防止靜電電荷對樣品造成損壞,從而提高產(chǎn)量。
 
傾斜式三目目鏡管,用于在 佳眼點水平進行觀察
·超寬25 mm視場,目鏡角度在0°和30°之間調(diào)整
·允許操作員調(diào)整眼點水平,以確保舒適的觀察位置


X-Y精細移動控制
·X-Y精細移動控制裝置位于操作員附近。
·所有控制裝置都位于彼此附近,可以輕松地進行載臺運動和聚焦。


使得目標物更容易被聚焦
·在光路中插入聚焦目標,可以輕松準確地聚焦低對比度樣品,如裸晶圓。


位于顯微鏡前部的控制裝置
·主控制旋鈕和按鈕位于顯微鏡前部,便于操作。
·可以在觀察樣品的同時快速輕松地進行顯微鏡操作。
·盡量減少長時間觀察導致的疲勞。

 
提高顯微系統(tǒng)和數(shù)碼相機的功能性
優(yōu)化工作流觀察、圖像捕獲和分析
 
·尼康同時開發(fā)了顯微鏡、數(shù)碼相機和成像軟件,使其能夠開發(fā)出功能強大、易于使用的數(shù)字成像顯微鏡系統(tǒng)。
·支持圖像流的所有方面,包括設(shè)置 佳觀看條件、數(shù)字圖像捕獲、處理和分析。

 

 

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