壓電納米定位臺(tái)系列

無(wú)中空 / 中空式壓電納米定位臺(tái)、壓電式移相器、穩(wěn)像壓電掃描臺(tái)、壓電顯微樣品臺(tái)、快速刀具定位臺(tái)。

一至六維運(yùn)動(dòng)可選

納米級(jí)分辨率

行程可達(dá)毫米級(jí)

毫秒至亞毫秒級(jí)響應(yīng)

低溫、真空、無(wú)磁版本可選

可定制

壓電納米定位臺(tái)

壓電納米定位臺(tái)是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn) X 軸、Z 軸、XY 軸、XZ 軸、XYZ 軸及六軸精密運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)，驅(qū)動(dòng)形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)式、放大機(jī)構(gòu)式。運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)毫米級(jí)，具有體積小、無(wú)摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有*高的可靠性，壓電納米定位臺(tái)在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。

P11 系列壓電納米定位臺(tái)（放大機(jī)構(gòu)式）

P11 系列壓電納米定位臺(tái)為小體積 1~3 維壓電平移臺(tái)，平臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn) 100μm 位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級(jí)。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有高導(dǎo)向精度、高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺(tái)具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可達(dá)納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級(jí)。壓電定位臺(tái)為無(wú)磁材質(zhì)，使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響，且體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。

P11.X/Z/XY200 壓電納米定位臺(tái)

P11.X/Z/XY200 系列壓電納米定位臺(tái)是運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái)，它的行程范圍可達(dá) 200μm。可選配閉環(huán)反饋傳感器，獲取更高精度。可定制低溫真空版本。

P13 系列壓電納米定位臺(tái)（放大機(jī)構(gòu)式）

P13 系列壓電納米定位臺(tái)為二維 XY、三維 XYZ 壓電平臺(tái)，臺(tái)體采用平行運(yùn)動(dòng)學(xué)機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，位移達(dá) 48μm/ 軸。開(kāi)、閉環(huán)版本可供選擇。產(chǎn)品可用于光學(xué)顯微、生物科技等領(lǐng)域。

P60.XYZ200 三維壓電納米定位臺(tái)

P60.XYZ200 系列壓電納米定位臺(tái)是 XYZ 三維運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái)，它的行程范圍可達(dá) 200μm/ 軸。

P63 系列壓電納米定位臺(tái)（直驅(qū)機(jī)構(gòu)式）

P63 系列壓電納米定位臺(tái)為小體積 1~3 維壓電定位平臺(tái)，內(nèi)部采用直驅(qū)機(jī)構(gòu)，它的重要特點(diǎn)是高精密且體積非常小巧，XYZ 三維運(yùn)動(dòng)版本的尺寸僅為 30×30×42mm（X 向運(yùn)動(dòng)版本尺寸僅為 30×30×21mm），非常易于集成到任何掃描儀器中。

P66 系列壓電納米定位臺(tái)（直驅(qū)或放大機(jī)構(gòu)式）

P66 系列壓電納米定位臺(tái)以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源，并采用直驅(qū)或放大機(jī)構(gòu)的 1~3 維運(yùn)動(dòng)的壓電位移平臺(tái)，是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng)，可達(dá)毫秒級(jí)響應(yīng)、納米級(jí)定位精度，并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適于定位應(yīng)用，如干涉中光路徑長(zhǎng)度修正、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等，已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。

P66.X30S/K-C1 壓電納米定位臺(tái)

P66.X30S/K-C1 壓電納米定位臺(tái)為一維 X 向運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái)，可進(jìn)行 38μm 范圍內(nèi)的納米級(jí)位置調(diào)整。

XD611.Z300 系列壓電納米定位臺(tái)（低溫真空）

XD611.Z300 是一款 Z 向運(yùn)動(dòng)的壓電納米定位臺(tái)，它的行程可達(dá) 300μm，是專(zhuān)為低溫真空環(huán)境應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計(jì)。

XD611.XYZ500 壓電納米定位臺(tái)

XD611.XYZ500 壓電納米定位臺(tái)是一款三維運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)，行程可高達(dá) 500μm，適用于小型樣品的三維納米定位應(yīng)用。

XD770.300 系列大負(fù)載壓電納米定位臺(tái)

壓電納米定位臺(tái)在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，可集成于各類(lèi)高精密裝備，為其提供納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制，且應(yīng)用非常廣泛。

XD770.300 系列壓電納米定位臺(tái)為 Z 軸方向的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，行程可達(dá)300μm，負(fù)載可達(dá)5kg，實(shí)現(xiàn)行程范圍和負(fù)載能力的雙提升，為同時(shí)有大行程、大負(fù)載應(yīng)用需求提供了優(yōu)質(zhì)的解決方案。配合芯明天壓電控制器，分辨率高、響應(yīng)速度快。

XD780 系列壓電納米定位臺(tái)

XD780 系列壓電納米定位臺(tái)可實(shí)現(xiàn)一維 X 向運(yùn)動(dòng)，有 50μm、150μm 和 200μm 三種行程可選。平臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn) 200μm位移。閉環(huán)版本全橋設(shè)計(jì)避免了溫度的漂移，確保了納米級(jí)定位精度。

XD731.XYZ100S/K 系列真空三維壓電納米定位臺(tái)

XD731 系列三維壓電納米定位臺(tái)是專(zhuān)為真空應(yīng)用環(huán)境而設(shè)計(jì)，它的真空兼容度可達(dá) 10E-7mbar。

XP-611 系列壓電納米定位臺(tái)（放大機(jī)構(gòu)式）

XP-611 系列壓電納米定位臺(tái)為一維 X 軸或 Z 軸壓電平移臺(tái)，采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn) X 軸或 Z 軸 100μm 的位移行程，柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)無(wú)摩擦、無(wú)后坐力。可選擇閉環(huán)版本定位精度高，是一維精密定位與掃描的理想選擇。

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