真空多維運動壓電馬達(dá)位移臺

時間：2025-3-26 閱讀：313

在科技飛速發(fā)展的今天，精密運動控制領(lǐng)域不斷迎來創(chuàng)新突破。壓電產(chǎn)品作為精密運動的主力軍，以其**的工作原理和優(yōu)秀性能，正逐漸在眾多領(lǐng)域嶄露頭角。今天，我們要為大家介紹的是一款多維真空壓電馬達(dá)——F21.N2E。

F21.N2E是一款二維運動壓電馬達(dá)，可進(jìn)行X向直線運動和θx偏擺運動。X軸直線行程可達(dá)10mm，分辨率可達(dá)5nm，速度可達(dá)3mm/s，重復(fù)定位精度可達(dá)0.1μm；θx偏擺行程可達(dá)10°，分辨率可達(dá)1μrad，速度可達(dá)3°/s，重復(fù)定位精度達(dá)0.001°。可負(fù)載600g樣品進(jìn)行運動，外觀結(jié)構(gòu)設(shè)計緊湊，體積小巧，適用于各種高精度應(yīng)用領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點

X、θx二維運動行程大響應(yīng)速度快閉環(huán)分辨率高真空兼容

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體：掃描電鏡（SEM）樣品操縱、原子力顯微鏡、大范圍電子束直寫（EBL）、光刻機、晶圓加工與檢測、探針臺等。

光學(xué)：激光通訊、激光加工、天文望遠(yuǎn)鏡、光路調(diào)整、激光穩(wěn)定、光纖對準(zhǔn)、光學(xué)測試系統(tǒng)等。

生物與醫(yī)療：超分辨成像樣品移動、顯微及納米CT、細(xì)胞穿透、微計量配藥等。

芯明天多維度壓電馬達(dá)

技術(shù)參數(shù)

型號	F21.N2E
運動自由度	X、θx
傳感器	光柵傳感器
θx偏擺部分
運動自由度	θx
速度上限	3°/s
行程范圍	10° 或±5°
分辨率	1μrad
線性度	0.01°
重復(fù)定位精度	0.001°
直線運動部分
運動自由度	X
速度上限	3mm/s
行程范圍	10mm或±5mm
分辨率	5nm
線性度	0.8μm
重復(fù)定位精度	0.1μm
整體
承載能力	600g
工作溫度范圍	0~40°C
重量	200g（不含線及連接器）
臺體材料	鋼、鋁
出線長	0.7m
連接器	DB15公座×2

配套控制器

由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的E53.D1E-J壓電控制器非常適用于驅(qū)動F21.N2E系列壓電馬達(dá)，它是單通道壓電控制器，采用數(shù)字控制，24VDC供電，靜態(tài)功耗小于5W，通信接口為TYPE-C、RS-422、RS-232操作便捷，尺寸僅105×103×30.1mm^3，外觀體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成。