P35A.T35系列大行程壓電偏轉鏡

時間：2025-1-2 閱讀：714

P35A.T35系列是一款兼具大行程、高精度、高頻率特點的二維運動壓電偏轉鏡。它可產生θx、θy二維偏轉，偏轉角度達±18.5mrad，空載諧振頻率達2kHz，可配置閉環傳感器，閉環重復定位精度可達0.025%F.S.。外觀采用方形的設計，在物理上實現空間的最l大化利用便于集成，非常適合高精度大行程角度的快速偏轉應用。產品外觀如下圖所示。

產品特點

二維θx、θy偏轉

偏轉角度達±18.5mrad

空載諧振頻率2kHz

可定制

可選配閉環傳感器

產品應用

P35A.T35系列壓電偏轉鏡可廣泛應用于圖像處理/穩定、隔行掃描/抖動、光過濾/開關、激光掃描、光束偏轉與穩定、掃描顯微等光學應用。

技術參數

型號	P35A.T35S/K
運動自由度	θx、θy
驅動控制	3路驅動，2路傳感
標稱偏轉角度（0~120V）	±14.8mrad/軸
偏轉角度（0~150V）	±18.5mrad/軸
傳感器類型	SGS/-
閉/開環分辨率	1.2μrad/0.4μrad
線性度	0.13%F.S./-
重復定位精度	θx0.05%F.S., θy0.025%F.S./-
空載諧振頻率	2000Hz
帶載諧振頻率	1800Hz（負載Φ12.7×3mm鏡片） 1100Hz（負載Φ24.5×3mm鏡片）
閉環階躍時間	7ms@Φ12.7×3mm鏡片 8ms@Φ24.5×3mm鏡片
靜電容量	7.2μF/軸
材質	鈦合金、鋁
重量	155g

配套控制器

E80.D3S-P多通道壓電控制器非常適用于驅動P35A.T35系列壓電偏轉鏡，采用模擬和數字控制，具有3個輸出通道，其中1通道輸出恒壓，非常適于差分驅動。此外，該控制器配備有傳感信號監測部分，可反饋體現壓電偏轉鏡偏轉角度的電壓信號，實現對偏轉鏡的高精確度控制。控制器可滿足電磁兼容試驗（CS101、CS114、CS115、CS116、RE102、RS103）、力學沖擊試驗（重力加速度20g）、22.6kPa低氣壓試驗（絕對值）等諸多嚴格的環境試驗。