壓電馬達(dá)是由壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，利用特殊機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，將壓電陶瓷產(chǎn)生的直線微位移轉(zhuǎn)換為機(jī)械平面的宏觀直線（或角度）運(yùn)動(dòng)，行程可達(dá)幾十毫米（或360°），根據(jù)運(yùn)動(dòng)方式可分為直線壓電馬達(dá)和旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)。在當(dāng)今工業(yè)和高科技領(lǐng)域?qū)Ω呔茏詣?dòng)化控制的需求下，壓電馬達(dá)由于大行程、高精度、小體積等優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體技術(shù)、光學(xué)儀器設(shè)備、醫(yī)療生物顯微設(shè)備、精密加工設(shè)備、航空航天等領(lǐng)域。

本次給大家介紹一款真空版超小體積直線壓電馬達(dá)，型號(hào)是N11.X3.5KZ。它采用粘滑原理，將PZT 壓電陶瓷的微運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為毫米級(jí)長行程。它的體積非常小巧，僅15×15×7mm^3，而它的行程卻可高達(dá)3.6mm，可通過單獨(dú)使用或組合使用進(jìn)行1-3維運(yùn)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)速度可達(dá)2mm/s，真空度可選10^-6或10^-9mbar版，非常適用于受限空間和環(huán)境中毫米范圍行程的調(diào)整應(yīng)用。