P60.X250是高精度的一維X向壓電納米定位臺，平臺采用有限元分析（FEA）優化的線切割撓曲鉸鏈結構，內置高性能壓電疊堆陶瓷，具有非常高的線性度，運動行程可達330μm，已廣泛應用于干涉、顯微、精密加工等領域。

P60.X250可以選擇開環或閉環版本，閉環版本內部配有高分辨率及快速響應的應變傳感器（SGS），以消除熱漂移，使得該系列納米定位臺可以實現非常高的線性度與重復度。同時，其抗震動的設計，非常適用于相關實驗及應用環境。

特點

• X向運動

• 行程可達330μm

• 抗振動設計

• 兩通道控制（含1路恒壓）

• 差分驅動

• 快速響應

應用

• 計量/干涉

• 納米定位

• 質量保證測試

• 精密控制

電壓位移曲線

階躍時間曲線

P60.X250S帶載200g，小幅值階躍時間可達20ms。

技術參數

運動自由度：X

行程范圍（0~120V）：±130μm

行程范圍（0~150V）：±165μm

傳感器：SGS

閉/開環分辨率：12/5nm

閉環線性度：0.1%F.S.

閉環重復定位精度：0.04%F.S.

俯仰/偏航/滾動：＜10μrad

推/拉力：300/30N

運動方向剛度：1.2 N/μm

空載諧振頻率：490Hz

閉/開環空載階躍時間：80/40ms

承載能力：0.6kg

靜電容量：24.6μF

工作溫度：-40~+80℃

抗振設計：半正弦15g，11ms

后峰鋸齒波20g，11ms

材質：鋼、鋁

重量：950g

推薦控制器

P60.X250為一維X向差分驅動定位臺，需配套兩通道（含一路恒壓）控制器，可配置芯明天四通道E70系列壓電控制器，同時驅動兩臺P60.X250，實現精密運動控制。