P66A.X30為一維X向運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái)，平臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。機(jī)構(gòu)采用放大式驅(qū)動(dòng)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)38μm范圍內(nèi)的納米級(jí)位置調(diào)整。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有高導(dǎo)向精度、高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。平臺(tái)具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可達(dá)納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級(jí)。

特性

• 一維X向運(yùn)動(dòng)

• 行程達(dá)38μm

• 承載力達(dá)100g

• 可選閉環(huán)版本、真空版本

典型應(yīng)用

• 納米級(jí)精密位置調(diào)整

• 掃描顯微

• 微操作

• 納米定位/測(cè)量

• 微加工

高動(dòng)態(tài) 高精度

P66A.X30為小體積高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，特別為高分辨率、高動(dòng)態(tài)、高定位精度應(yīng)用而設(shè)計(jì)，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度調(diào)整，特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使其具有非常大的剛度，空載諧振頻率達(dá)2000Hz，滿足工業(yè)上對(duì)高頻率、高精度等應(yīng)用的需求。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：P66A.X30

運(yùn)動(dòng)自由度：X

標(biāo)稱(chēng)行程范圍（0~120V）：30μm

行程范圍（0~150V）：38μm

閉環(huán)傳感器類(lèi)型：SGS

閉/開(kāi)環(huán)分辨率：10/5nm

閉環(huán)線性度：0.1%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.1%F.S.

推/拉力：200/10 N

運(yùn)動(dòng)方向剛度：10N/μm

空載諧振頻率：2000Hz

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間：5/1.5ms

承載能力：100g

靜電容量：3.6μF

臺(tái)體材料：鋁

電纜長(zhǎng)度：1.5m

推薦控制器

P66A.X30壓電納米定位臺(tái)為一維X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，可配套芯明天單通道壓電控制器，實(shí)現(xiàn)精密運(yùn)動(dòng)控制。

E01.D1

LCD，薄膜按鍵, 可達(dá)625mA

RS-232/RS-422/USB通信

軟件可二次開(kāi)發(fā)

E53.D

小體積，60mA

RS-232/RS-422/USB通信

軟件可二次開(kāi)發(fā)