由于高精度顯微設(shè)備的成本通常是非常高昂的，因此對(duì)于顯微設(shè)備的選擇一般處于微米精度，從而控制采購成本。并且這類顯微設(shè)備，在出廠時(shí)，它的觀測精度及觀測范圍就已確定，在需要更高精度的觀測或更大范圍的觀測時(shí)，就不能滿足相應(yīng)的要求。

鑒于此，芯明天為客戶提供壓電物鏡定位器與高精度XY二維電動(dòng)平臺(tái)及相應(yīng)控制系統(tǒng)，為客戶解決現(xiàn)有顯微鏡系統(tǒng)精度低、觀測范圍小的難題。

該系統(tǒng)可將顯微成像系統(tǒng)的精度提高達(dá)上千倍，可更適于小型細(xì)胞等超小結(jié)構(gòu)的監(jiān)測與成像。

組成部件及功能

該解決方案由壓電物鏡定位器、高精度XY二維電動(dòng)平臺(tái)及相應(yīng)控制器等部件組成。壓電物鏡定位器的作用是進(jìn)行Z向的快速聚焦調(diào)節(jié)，它的分辨率可達(dá)幾納米；而高精度二維電動(dòng)平臺(tái)的作用是增加樣品XY向的調(diào)節(jié)范圍，可達(dá)百毫米，精度在亞微米范圍。

壓電物鏡定位器

壓電物鏡定位器是通過螺紋適配器連接于鏡頭上方，且該螺紋可任意選擇，可適配奧林巴斯Olympus、蔡司Zeiss、尼康Nikon、徠卡Leica等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭，且可定制。

芯明天壓電物鏡定位器的可選行程范圍為75μm、100μm、200μm、500μm、1000μm等，分辨率可高達(dá)2.5nm，承載由0.2kg至1.5kg不等。

該壓電物鏡定位器由壓電驅(qū)動(dòng)，響應(yīng)速度高達(dá)5ms，滿足快速調(diào)焦要求。

可選擇內(nèi)置傳感器，使其具有高線性度及重復(fù)度。

高精度XY二維電動(dòng)平臺(tái)

這款高精度XY二維電動(dòng)平臺(tái)采用直線/伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，行程可達(dá)150mm×100mm，調(diào)節(jié)速度可達(dá)300mm/s，加速度可達(dá)1000mm/s²，分辨率達(dá)0.1μm，承載達(dá)3kg。采用工業(yè)級(jí)阻燃外殼以及精加工鋁合金基板、高精度滾珠導(dǎo)軌等材料制作而成。

可選擇內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)微米級(jí)定位控制。

可通過軟件及手柄進(jìn)行操作控制。

另外，也可選擇XY向壓電納米定位臺(tái)以提供更高的掃描精度。

芯明天P12.XY壓電掃描臺(tái)

XY運(yùn)動(dòng)，行程100μm/軸，分辨率達(dá)4nm

應(yīng)用案例

芯明天為客戶提供的這套顯微成像解決方案，得到了客戶一致的認(rèn)可，已廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)療、顯微成像等領(lǐng)域。

下圖中顯微設(shè)備為一款普通的生物顯微鏡，集成了芯明天P72系列壓電物鏡定位器及高精度XY二維電動(dòng)平臺(tái)，顯著提高了成像精度、速度及樣品調(diào)整范圍。

其他應(yīng)用安裝展示