*，壓電促動器是基于壓電材料制作而成的具有促動功能的壓電執行器件。它利用的是壓電元件的逆壓電效應，在不同電壓的驅使下，它可產生不同的位移量。對于壓電元件本身或直驅機構的壓電促動器，伸長量一般為1‰至2‰；而對于放大機構設計，就與柔性機構的放大倍數相關。

 壓電促動器的特點： 

·納米級高分辨率

·毫秒至亞毫秒的快速響應

·行程范圍可達1mm

·大出力，可高達50000N

·外形小巧，結構緊湊

·壽命可達十億次

 壓電促動器的應用： 

基于壓電促動器的特點，在光學、力學、半導體、加工、生物醫療、顯微成像等各領域得到廣泛應用。應用場景非常多樣，如快速響應及大出力特點，非常適用于主動減振/抑振等；高分辨率特點又使其非常適用于光學干涉移相、三維形貌測量等；小體積及快速定位特點適用于激光腔調諧等。

 壓電促動器的三種類型： 

先簡單介紹三種壓電促動器，它們分別為壓電執行元件、直驅機構壓電促動器與放大機構壓電促動器。

 一、壓電執行元件-無機械結構 

壓電執行元件是外部未裝配機械結構的壓電陶瓷，是壓電原材料經過混合、煅燒、研磨、再混合、流延、構建、層壓、切割、燒結、加工、處理、極化等生產過程而制成的壓電元件，極化后的壓電元件具有壓電效應。

壓電執行元件的外形尺寸一般很小，厚度可小至1mm，對于較大壓電執行元件，一般長寬上限為25mm、外徑為35mm，非常適于小應用空間的應用，如焊線機線夾、移相、精密定位等。

 二、直驅壓電促動器 

直驅壓電促動器是具有機械結構的壓電執行器，它的結構采用直接驅動的方式，以約1：1的比例將壓電元件本身的位移、出力等進行輸出。不僅不會改變壓電元件的優勢特點，還會顯著提高壓電元件的動態性，并為其增加了一層強有力的保護。

另外，它也增加了機械接口，使安裝更便捷，可選擇平頭、球頭、內螺紋、外螺紋等多種形式，也可定制。

直驅壓電促動器適用于多種應用，如減振抑振、諧振器、移相器等。

 三、機構放大壓電促動器 

機構放大壓電促動器也是具有機械結構的壓電執行器，但結構形式不同，它采用的是柔性放大機構，將壓電元件本身產生的位移進行放大輸出，可放大達十倍，甚至更高，取決機械結構的設計。

機構放大壓電促動器的位移可達毫米量級，但它的出力會相應減少，非常適合靜態、大位移應用，如材料摩擦系數的測量等。