芯明天XP-63X壓電納米定位臺(tái)為壓電陶瓷直驅(qū)X軸運(yùn)動(dòng)定位臺(tái)，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，具有剛度大、分辨率高、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，可以通過(guò)自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺(tái)。

特點(diǎn)

· 1~3維自由組合

· 大行程68μm

· 大承載5kg

· 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

體積小、剛度大、響應(yīng)速度快、閉環(huán)精度高

XP-63X系列壓電納米定位臺(tái)特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有大機(jī)械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點(diǎn)。負(fù)載情況下也具有很高的使用頻率，響應(yīng)時(shí)間可以實(shí)現(xiàn)亞毫秒級(jí)。例如XP-630帶動(dòng)20g負(fù)載，響應(yīng)時(shí)間僅為5ms。XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧，XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm，易于與其他平臺(tái)設(shè)備集成。

閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器，可實(shí)時(shí)檢測(cè)位置信號(hào)并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過(guò)PID算法對(duì)檢測(cè)到的位置信號(hào)進(jìn)行修正，從而實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精密定位。

技術(shù)參數(shù)

XP-633.XS

運(yùn)動(dòng)自由度： X

標(biāo)稱行程范圍（0~120V）：48μm

大行程范圍（-20~150V）：68μm

傳感器類(lèi)型：SGS

閉環(huán)分辨率：2nm

閉環(huán)線性度：0.15%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.1%F.S.

推/拉力：480/80N

剛度：10N/μm

空載諧振頻率：1.5kHz

大承載：5kg

靜電容量：7.2μF

材質(zhì)：鋁

重量：450g

應(yīng)用實(shí)例

采用XP-633壓電納米定位臺(tái)帶動(dòng)探針作精密位移定位檢測(cè)控制，從而完成1mN的力控制實(shí)驗(yàn)。

XP-633壓電納米定位臺(tái)配套二維宏動(dòng)臺(tái)組成宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)，應(yīng)用于精密加工中。

推薦控制器

XP-633為一維壓電納米定位臺(tái)，推薦使用E53.D小體積壓電控制器，體積小巧，易于集成。

E53.D壓電控制器

·E53.D

·0~120V/150V輸出

·模擬、上位機(jī)通信控制

·帶寬10kHz

·尺寸80×148×27.5mm

kerning:1.0000pt;" >E01.D1壓電控制器

·E01.D1

·0~120V/150V輸出

·平均功率7W/35W

·上位機(jī)通信、模擬、旋鈕控制