蘇州卡斯圖電子有限公司
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本設備采用新進的光學設計，保證了高質量的邊緣檢測和顯微檢測。在直線校準中，采用夾線和叉線進行觀測，比單純使用一個直線進行觀測所獲得的結果更為精確。
MT-400AH工具金相顯微鏡是蘇州卡斯圖電子有限公司根據半導體客戶研發的一款高精度測量設備。使測量物體精確的對準樣品邊緣是至關重要的，本設備采用新進的光學設計，保證了高質量的邊緣檢測和顯微檢測。在直線校準中，采用夾線和叉線進行觀測，比單純使用一個直線進行觀測所獲得的結果更為精確。在主機設計方面，我們致力于增強它與操作人員之間的親和性以及操作的舒適性。此外，我們還采用了抗疲勞設計，操作人員即使長時間使用，也不會感到疲勞和不適。新近研發的FA照明器具有分光棱鏡輔助對焦功能，可提供更銳利的圖案。可在Z軸測量期間提供精確對焦，由于不同物鏡焦深差異導致的測量誤差被降至。兩側均配備了同軸粗/微調手輪，以速度實現對焦，儀器內置高精度光柵尺，可進行精確的3軸測量。
特征及優勢
■ 配置完善，測量精準
■ 平臺可快速移動，方便大尺寸產品測量
■ 符合人體設計的光學觀察
■ 測量數值實時顯示
■ 主機臺快速測量，電腦端同步展示
■ 便捷強大的測量分析軟件
■ 可選配晶圓臺
■ 校準和線性檢測
■ 包含獨立儀器桌、臺式電腦、鍵盤、鼠標和 22英寸的顯示器
■ 標準尺
儀 器 型 號 | MT-300AH | MT-400AH | MT-500AH | ||||
工 作 臺 | 鑄鐵臺尺寸(mm) | 356×266 | 487×367 | 606×476 | |||
玻璃臺尺寸(mm) | 260×160 | 345×245 | 445×345 | ||||
運動行程(mm) | 200(X)×150(Y) | 300(X)×200(Y) | 400(X)×300(Y) | ||||
調焦行程(mm) | 100 | 100 | 150 | ||||
放大倍數與攝像系統 | 500萬像素工業相機，可拍照可測量 | ||||||
物鏡5X，10X，20X，50X （100選配） 目鏡：10X/20 | |||||||
X軸/Y軸顯示精度：0.0001mm Z軸顯示精度：0.0001MM | |||||||
總放大倍數50X-500X | |||||||
示值誤差 | X.Y≤(2.5+L/200)um | Z≤(3.5+L/50)um(L為被測長度單位:mm) | |||||
照明系統 | LED環形表面光+底部平行光 | ||||||
外形尺寸(mm) (長×寬×高) | 600×550×780 | 760×580×820 | 970×750×1000 | ||||
承重 | 20kg | 20kg | 25kg | ||||
儀器重量（kg） | 150kg | 170kg | 200kg | ||||
儀器電源 | 220V（AC） 50HZ | ||||||
由于微觀結構檢測趨于細微化，不僅要滿足觀察和測量這一生產和質量管理原則，而且測量顯微鏡同時對其精度要求也越來越高
人體工程設計
在顯微鏡主機設計方面，我們致力于增強它與操作人員之間的親和力以及操作的舒適性。其儀器設計十分便于操作。此外，它還采用了抗體疲勞設計，操作人員及時長時間使用，也不會感到疲勞和不適。
輔助對焦
新近研發的FA照明器具有分光棱鏡輔助對焦功能，可提供更銳利的圖案。可在Z軸測量期間提供精確對焦，由于不同物鏡焦深差異導致的測量誤差被降至。
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