三坐標(biāo)測量機(jī)測量精度高、效率高，廣泛應(yīng)用在精密加工檢測領(lǐng)域。它與數(shù)控機(jī)床是保證工件測量與加工精度的關(guān)鍵設(shè)備。其中作為高精度的測量基準(zhǔn)，幾何誤差的快速、高精度檢測技術(shù)都是三坐標(biāo)測量機(jī)性能提升的關(guān)鍵。三坐標(biāo)測量機(jī)運行速度的加快，動態(tài)誤差往往會比靜態(tài)/準(zhǔn)靜態(tài)誤差對測量精度影響更大。特別在高速測量過程中，產(chǎn)生的自激振動和受迫振動，都會產(chǎn)生動態(tài)誤差。激光干涉儀是常用的機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)幾何誤差檢測的手段。

其中垂直度測量是通過比較正交軸的直線度值從而確定正交軸的非直角度。三坐標(biāo)測量機(jī)的垂直度誤差可能是導(dǎo)軌磨損、事故造成導(dǎo)軌損壞、機(jī)器地基差、正交軸上兩原點傳感器未準(zhǔn)直等因素造成的，垂直度誤差將對機(jī)器的定位精度及插補(bǔ)能力產(chǎn)生直接影響。SJ6000激光干涉儀以光波為載體，在動態(tài)測量軟件的配合下，可實現(xiàn)三坐標(biāo)測量機(jī)的垂直度檢測分析。

垂直度測量構(gòu)建

SJ6000激光干涉儀垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測量過程中保持原為，且不進(jìn)行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測量中，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差=光學(xué)直角尺誤差-斜度θ1-斜度。

SJ6000激光干涉儀

垂直度測量的光路原理構(gòu)件圖

三坐標(biāo)測量機(jī)XY軸的垂直度測量