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激光干涉儀可測(cè)量所有可轉(zhuǎn)換為位移量的物理量
激光干涉儀基于激光多普勒原理，采用激光外差干涉技術(shù)和光纖傳輸技術(shù)，通常由控制器、光纖、干涉儀、被測(cè)鏡、上位機(jī)軟件等部件組成，它可測(cè)量所有可轉(zhuǎn)換為位移量的物理量，比如位移、振動(dòng)、速度、加速度、形變等等。
其主要功能包括：
定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測(cè)量、速度加速度測(cè)量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角、角速度、圓形軌跡、微振動(dòng)測(cè)量等，通過(guò)配合使用球桿儀，還能夠測(cè)量數(shù)控機(jī)床的回轉(zhuǎn)量，從而實(shí)現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補(bǔ)償。
隨著智能制造技術(shù)的不斷深入，檢測(cè)成為了生產(chǎn)過(guò)程中越來(lái)越重要的一環(huán)，而位移測(cè)量是非常重要的一種檢測(cè)。通常而言，設(shè)備的檢測(cè)精度要達(dá)到加工精度的3倍以上，比方說(shuō)要加工出3μm的精度，則檢測(cè)精度至少要1μm以下，因此位移測(cè)量系統(tǒng)成為智能制造設(shè)備的關(guān)鍵部件之一。
原理及特點(diǎn)：
它可測(cè)量所有可轉(zhuǎn)換為位移量的物理量，比如位移、振動(dòng)、速度、加速度、形變等等。
1、采用交流放大器，更穩(wěn)定，抗環(huán)境干擾力更強(qiáng)；
2、采用高倍電子細(xì)分，可達(dá)納米級(jí)分辨率；
3、采用光纖傳輸，裝調(diào)更便捷，更容易實(shí)現(xiàn)多軸同步測(cè)量；
4、最大測(cè)量速度可達(dá)5m/s；
5、具備網(wǎng)口、USB口及ABZ正交編碼等輸出。
目前常用的位移測(cè)量系統(tǒng)有光柵、容柵、磁柵、激光干涉儀等，其中以激光干涉儀的精度最高，是微納位移測(cè)量的*。按照技術(shù)路線不同，激光干涉儀可分為單頻激光干涉儀和激光干涉儀；按結(jié)構(gòu)不同，也可分為傳統(tǒng)激光干涉儀（空間光傳輸）和光纖激光干涉儀。
