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深圳市中圖儀器股份有限公司

激光干涉儀可測量所有可轉換為位移量的物理量

時間:2022-5-23 閱讀:928
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   激光干涉儀基于激光多普勒原理,采用激光外差干涉技術和光纖傳輸技術,通常由控制器、光纖、干涉儀、被測鏡、上位機軟件等部件組成,它可測量所有可轉換為位移量的物理量,比如位移、振動、速度、加速度、形變等等。
  
  其主要功能包括:
  定位精度、重復定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量等,通過配合使用球桿儀,還能夠測量數控機床的回轉量,從而實現定位、校準、控制和補償。
  
  隨著智能制造技術的不斷深入,檢測成為了生產過程中越來越重要的一環,而位移測量是非常重要的一種檢測。通常而言,設備的檢測精度要達到加工精度的3倍以上,比方說要加工出3μm的精度,則檢測精度至少要1μm以下,因此位移測量系統成為智能制造設備的關鍵部件之一。
  
  原理及特點:
  它可測量所有可轉換為位移量的物理量,比如位移、振動、速度、加速度、形變等等。
  1、采用交流放大器,更穩定,抗環境干擾力更強;
  2、采用高倍電子細分,可達納米級分辨率;
  3、采用光纖傳輸,裝調更便捷,更容易實現多軸同步測量;
  4、最大測量速度可達5m/s;
  5、具備網口、USB口及ABZ正交編碼等輸出。
  
  目前常用的位移測量系統有光柵、容柵、磁柵、激光干涉儀等,其中以激光干涉儀的精度最高,是微納位移測量的*。按照技術路線不同,激光干涉儀可分為單頻激光干涉儀和激光干涉儀;按結構不同,也可分為傳統激光干涉儀(空間光傳輸)和光纖激光干涉儀。

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