Setra西特225超高純壓力變送器專門設計用于半導體工藝過程中的超高純氣體輸送系統以及要求超潔凈工作、高吞吐量和超高長期穩定性的控制應用于高純度氣體輸送系統·半導體過程工具,氣柜GCT-225 系列采用可旋轉的外罩結構，用戶可方便地調節用于零點和量程微調的 12 圈電位計。標準的旋轉外螺紋 /內螺紋端面密封壓力接口可滿足半導體行業的要求。此外，該系列產品還選用多種其他接口

詳細介紹

周萃 181-（6205）-9184Setra西特225超高純壓力變送器

Setra西特225超高純壓力變送器2251200BGD4N106度氣體輸送系統

·氣柜
Setra GCT-225 系列超高純壓力變送器專門設計用于半
導體工藝過程中的超高純氣體輸送系統以及要求超潔凈工
作、高吞吐量和超高長期穩定性的控制應用于高純度氣體輸送系統·半導體過程工具,氣柜
GCT-225 系列采用可旋轉的外罩結構，用戶可方便地調節
用于零點和量程微調的 12 圈電位計。標準的旋轉外螺紋 /
內螺紋端面密封壓力接口可滿足半導體行業的要求。此外，
該系列產品還選用多種其他接口類型。 GCT-225 系列產品
提供 5 VDC、 10 VDC 或 4-20 mA 三種輸出類型，可使用
六英尺多芯電纜及卡口、 D-Sub 或 M12x1 接頭進行電氣
連接。

特性

■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PS
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度 7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實驗
·堅固耐用，*安裝
·4-20mA 輸出型獲得不易燃認證，適用于潛在危險區域
·符合 CE 和 RoHS 標準要求
GCT-225 系列壓力變送器采用 Setra 磚利的可變電容技
術，配有 VIM/ VAR 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣
電極板與傳感器本地構成可變電容。當氣體壓力提升時，
隔膜會變得略圓，使電容減小。傳感器將檢測到電容變化，
并將其轉換為高精度的線性直流電信號。 Setra *的定
制集成電路采用磚利的電荷平衡原理制成，幾乎不受 EMI/
RFI 干擾。
在制造和裝配完成后， Setra 超高純壓力變送器還要接受
去離子水沖洗、高純熱氮氣吹掃、烘干、雙層包裝、氮氣
充注和密封等處理，后才發貨。
注： Setra 的質量標準是根據 ANSI-Z540 制定的。該產品
的標定具有 NIST 可追蹤性，美國磚利號。