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深圳市天鉉真空技術有限公司
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ETCH主要產品涉及金屬加工件chamber Linear/heater/slit door

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更新時間：2025-03-24 12:35:10瀏覽次數：825次

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ETCH主要產品涉及金屬加工件chamberLinear/heater/slitdoor）；密封件；以及ESC（包括ESC翻新延長了使用壽命加熱元件的發熱越有效，需要對它們進行的加熱就越少



ETCH主要產品涉及金屬加工件chamber Linear/heater/slit door）；密封件；以及ESC（包括ESC 翻 新

延長了使用壽命




加熱元件的發熱越有效，需要對它們進行的加熱就越少。Plansee 研發了一種能夠熱輸出的涂層工藝。



鎢基層具有高孔隙率的

  • 鉬（熔點：2620°C）和鎢（熔點：3420°C）均是難熔金屬，高熔點使它們非常適合用于諸如 MOCVD 和 MBE 之類的高溫工藝。
  • 耐腐蝕：
    鉬和鎢在各種環境中都具有耐腐蝕性，甚至在溫度下也是如此：
鉬 鎢
氨氣
  • 在操作過程中，反應室部件中的雜質也可能污染半導體。要保證半導體的質量和 LED 或晶體管的效率，我們的材料必須無雜質。我們保證材料純度高于 99.97%。

  • 蒸氣壓低：


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