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深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第4年

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EBARA 456W-TF Turbo Pump Controllers分子泵電源

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性能泵的排氣壓力與進(jìn)氣壓力之比稱為

性能

泵的排氣壓力與進(jìn)氣壓力之比稱為。壓縮比除與泵的級(jí)數(shù)和轉(zhuǎn)速有關(guān)外，還與氣體種類有關(guān)。分子量大的氣體有高的壓縮比。對(duì)氮（或空氣）的壓縮比為108～109；對(duì)氫為102～104；對(duì)分子量大的氣體如油蒸氣則大于1010。
泵的極限壓力為10-9Pa，工作壓力范圍為10-1～10-8Pa，為幾十到幾千升每秒（1L=10-3m3）。
渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)（氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面尺寸的流態(tài)）下工作才能顯示出它的*性，因此要求配有工作壓力為1～10-2Pa的前級(jí)真空泵。
本身由轉(zhuǎn)速為10000～60000轉(zhuǎn)/分的直聯(lián)驅(qū)動(dòng)。

 

特點(diǎn)

抽速大、無油、啟動(dòng)快、無油污染、維護(hù)簡單
工作范圍：清潔的低真空~中、高真空，大氣~超高真空
極限真空：10-6/ 10-10torr

缺點(diǎn)：結(jié)構(gòu)復(fù)雜、對(duì)軸承耐磨程度要求高、制造成本高 

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