INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中，測量范圍從
5×10^-10 毫巴至大氣壓（3.8×10^-10 托至大氣壓）。 多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。
選擇BPG400真空計，價格經濟，且可重復測量基準壓力。

• 測量范圍非常廣，從 5×10^-10 毫巴至大氣壓（3.8×10^-10 托至大氣壓）
• 10^-8 … 10^-2 毫巴過程壓力范圍內 5% 的優良可重復性
• 皮拉尼聯鎖保護貝阿德-阿爾珀特系統在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染
• 使用壽命長的氧化釔銥絲
• 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
• 高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預
• RoHS 合規
• 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

• 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
• 工業鍍膜
• 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

零件號

BPG400
零件號	明細
353-500	BPG400 規管
353-500-11	BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-500-I0	BPG400規管
353-502-A	BPG400規管
354-498	Spare electronic BPG400 without Display
354-499	Spare electronic BPG400 with Display
353-501	BPG400 規管
353-502	BPG400 規管
353-503	BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-505	復合真空規
353-506	BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-507	BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-508	BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R