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AMAT Lam mks流量計控制器計649A12T51CAVR
MKS MODE流量計1179A00452CR1BV 20只
美國BROOKS布魯克斯5850E進口氣體流量計 深圳市天鉉真空技
深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司Horiba STEC SEC-N112數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應用。可實現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數(shù)字式/模擬式， CC-bbbb®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。
*1包括SEC-N177R
型號 | 選擇通訊方式 | 選擇供電方式 |
SEC-N102 系列 | 數(shù)字式信號傳輸 ?RS485 F-NET協(xié)議 模擬式通訊 ?0～5VDC | HORIBA可提供PE系列供應電源 |
SEC-N104 系列 | DeviceNet™ 通訊 | 符合ODVA標準 |
SEC-N105 系列 | CC-bbbb®通訊 模擬式通訊 ?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | 符合 CC-bbbb®標準 24VDC(13 ~ 32VDC) |
| PROFIBUS™ 通訊方式 |
|
模擬式通訊 | ||
?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | ||
SEC-N107系列 | EtherCAT® 通訊方式 | 符合EtherCAT®標準 24VDC ± 4V |
(*1)包括SEC-N17XR
多氣體，多量程的功能可使用軟件方便的更改MFC的氣體或滿量程流量。
制造: HORIBA STEC
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