性能指標(biāo)

FC-R7800CD/FC-R7800D系列

FC-R7810CD/FC-R7810D系列

FC-R7820CD/FC-R7820D系列

滿量程范圍

10Sccm-5Slm

N/O:6-20slm*

N/C:6-50slm**

35-200Slm

響應(yīng)時(shí)間

滿流量的±2%范圍內(nèi),小于2秒

滿流量的±2%范圍內(nèi),小于3秒

精度

≤±1%滿量程

≤±2%滿量程

線性鍍

≤滿量程±0 5%

≤滿量程±0 5% ＃1

≤滿量程±1%

重復(fù)性

                          ≤滿量程±0.2%

泄漏率

                            1X10E-11 Pa.m ?/sec

控制范圍

                          滿流量的2%-5%  #2

壓差

49Kpa-275Kpa

69Kpa-275Kpa

98Kpa-275Kpa

147Kpa-275Kpa

正常工作壓

力

                           490Kpa

進(jìn)氣壓力

                           980Kpa

溫度范圍

                           5-45℃(41-113℉)

輸入電源

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 180mA

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 200mA

功率

3.1W max

3.5W max

輸入信號(hào)

0-5 VDC

輸出型號(hào)

0-5 VDC

控制閥形式

常開或常閉電磁閥

密封件

金屬密封

材質(zhì)

316L，316，PTFE，不銹鋼（氟橡膠，氯丁橡膠）

標(biāo)準(zhǔn)接口

1/4"VCR和Swagelok兼容

3/8"VCR,1/4"VCR

重量

1.0KG

2.7KG