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概要

搭載采用了冷卻檢測方式的流量傳感器

特征

通過采用數字回路，實現了高精度?高速響應。

可以進行微升以上的微小流量控制。

可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。

超潔凈類型

規格

名稱	質量流量計
型號	LF-F20M-A	LF-F30M-A	LF-F40M-A	LF-F50M-A	LF-F60M-A
全標度流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5	1/2/5	10/20	50/100
檢測控制范圍	5?99% F.S.
對象液體種類 *1	可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度 *2	值. 0.1 Pa·s (100cp)
精度 *3	±1% F.S.
直線性 *3	±0.5% F.S.
重復性 *3	±0.5% F.S.
響應精度	3秒以內 (T98)		2秒以內 (T98)
使用環境溫度 *4	5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)
溫度影響 Span	±0.1%F.S./℃　值±1%
工作差壓值值 *5	值. 5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo 控制閥)
耐壓	10MPa (視為流量計)
壓力損失	值. 500Pa
流量設定信號	模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數字式：RS485(F-Net通信協議)
流量輸出信號	模擬：0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數字式：RS485(F-Net通信協議)
驅動電源	+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏規格	5×10-12Pa·m3/s (He)
接液部材質	SUS316L, Ni
標準接頭	1/16” ， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型			1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型	1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型

名稱	質量流量控制器
型號	LV-F20 (PO/MO)	LV-F30 (PO/MO)	LV-F40 (PO/MO)	LV-F50 (PO/MO)	LV-F60 (PO/MO)
全標度流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5	1/2/5	10/20	50/100
檢測控制范圍	5?99% F.S.
對象液體種類 *1	可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度 *2	值. 0.01 Pa·s (10cp)
精度 *3	±1% F.S.
直線性 *3	±0.5% F.S.
重復性 *3	±0.5% F.S.
響應精度	3秒以內 (T98)		2秒以內 (T98)
使用環境溫度 *4	5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)
溫度影響Span	±0.1%F.S./℃　值±1%
工作差壓值 *5	0.05?0.3MPa
耐壓	1MPa
壓力損失	ー
流量設定信號	模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數字式：RS485(F-Net通信協議)
流量輸出信號	模擬：0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數字式：RS485(F-Net通信協議)
驅動電源	+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏規格	PO 類型：1×10-8Pa•m3/s (He) MO 類型： 5×10-12Pa•m3/s (He)
接液部材質	PO 類型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA　MO 類型： SUS316L，Ni
標準接頭	1/16” ， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型			1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型	1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型

*1： LF-F/LV-F系列質量流量控制器利用1種液體進行了流量校正 (請預先所使用的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發生變化時，請預行咨詢協商。
?LV-F系列質量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時，請在一次端(入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2： LF-F類型質量流量控制器根據流量量程，可以適用到值， 0.1Pa•s。有關高粘度的液體請預行咨詢協商。
*3：以SEMI E56-1296 為準。
*4：進行測量?控制的液體溫度如果低于環境溫度時，使用時請把溫差控制在10℃以內；如果高于液體溫度時，使用時請把溫差控制在3℃以內。
*5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。