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PFC-60_πMFC數(shù)字低壓、多種氣體、多種量程金屬密封質(zhì)量流量控制器
數(shù)字式;
流量范圍:10-30000 sccm;
入口壓力:150 psig;
壓力精度:1% of Reading;
溫度精度:±2℃
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