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氣相沉積薄膜與基體附著力的劃痕試驗儀

時間:2024/8/6閱讀:496
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氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗儀

 

 

 

根據壓頭上自動連續增加的垂直載荷,測定劃透薄膜并使之從其基體上連續剝離所需要的最小載荷, 即薄膜基體界面附著失效的臨界載荷 L C 。

 

測定 L C 的自動劃痕試驗機的結構原理如圖1所示。 該儀器由下列主要部件組成: A—壓頭連續加載電機; B—聲發射探頭, 探測劃痕產生的聲發射強度并輸入微機; C—洛氏硬度計標準壓頭; D—試樣臺; E—位移電機, 用以勻速沿水平方向拖動試樣臺; F—切向摩擦力傳感器, 連續檢測壓頭與薄膜之間的摩擦力并輸入微機; G—試樣臺高度升降螺桿; H—加載壓力傳感器; I—光學顯微鏡(≥40×); J—信號放大器; K—變換控制器; L—微型計算機(嵌入式工業電腦), 用以實施測試自控和自動處理數據, 并動態顯示及存貯數據與圖形; M—試樣; N—CRT 顯示器; O—繪圖打印機, 輸出試驗結果; P—壓頭加載機構; Q—主支架。

 

執行標準:JB/T 8554-1997

 

技術參數

控制系統:PLC+Windows系統

操作界面:彩色觸摸屏15寸,嵌入式工業電腦

樣品尺寸:長方體:  4050mm, 寬 3045mm, 高 620mm; 或圓柱體 φ (4045)mm×(620)mm;

樣品要求:試樣在溫度(20± 5)℃和相對濕度(50±10)%RH的條件下至少放置 8 h, 然后按規定步驟測試只需很少的測試次數即可評價劃痕特性;

壓頭規格: GB/T 2848 規定的條件選擇金剛石壓頭(頂角 120°, 頂端半徑 在 200 μ m± 5 μ m范圍內), 在不小于 40 倍的顯微鏡下檢測壓頭, 確認其頂端是光滑潔凈的球面, 方可使用。

劃痕速度: (10± 1)mm/min可在觸摸屏任意設置;

加載速率: 對硬質薄膜為(2040)N/min;對非硬質薄膜為(510)N/min;極限壓力100N;

精度: 0.03 N

電機:伺服電機86+驅動器;

運動模式:絲桿+導軌,精度0.001mm

光學顯微鏡:50倍以上鏡片配置;

曲線圖:加載壓力,恒定壓力,摩擦力,垂直載荷關系圖,XY關系圖;

測試高度范圍:0-100mm;

測試模式:往復式運動,可單線運動,工業電腦觸摸屏上設置;

運動范圍:Y距離0-900mm,Y距離0-540mm;

用電:220V,120W,20A,50hz;

外形尺寸約:1000mm*600*640mm

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