用途:主要用于三坐標(biāo)、機(jī)床的校準(zhǔn)工作
激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計(jì)量測試方法,是*的高精度、高靈敏度的檢測手段,在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗*力強(qiáng)、*穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合,得到不同的干涉信號,然后通過高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù),將數(shù)據(jù)通過計(jì)算機(jī)進(jìn)行顯示和動(dòng)態(tài)分析。
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實(shí)現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測,如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量,可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測試與分析,滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析,驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等,具有*的精度和效率,而且及時(shí)處理數(shù)據(jù),為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。
系統(tǒng)具有模塊化結(jié)構(gòu),您可以從中圖儀器的一系列產(chǎn)品中選擇組件,以滿足您的具體測量需求。
1. 功能特點(diǎn)
1.1. 產(chǎn)品功能特點(diǎn)
1. 測量精度高:以激光干涉技術(shù)為核心,分辨率可達(dá)納米級;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響;使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng),保證激光*穩(wěn)頻精度;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱變形,保證干涉光路穩(wěn)定。
2. 具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等;同時(shí)也能檢測運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。
3. 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,滿足機(jī)床誤差修正的要求。
4. 具有動(dòng)態(tài)測量(位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線)及測量振幅和頻率分析的功能,可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測試與分析,滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析,驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。
5. 內(nèi)置各種類國標(biāo)(GB)、ISO()、BS(英制)、美標(biāo)、DIN(德標(biāo))、JIS(日標(biāo))等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)??梢罁?jù)各種機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù),并根據(jù)測量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。
6. 可自動(dòng)監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)??蛇x擇手動(dòng)或自動(dòng)對波長進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
7. 測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理,可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄;可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD(選配)文檔。
8. 安裝方便:基本重量為15kg,簡單便攜。
1.2. 分析標(biāo)準(zhǔn)配置
激光干涉儀測量分析軟件支持以下檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn):
ISO230-2 | 老版標(biāo)準(zhǔn) |
ISO230-1997 | 新版標(biāo)準(zhǔn) |
ANSI B5.54 | 美國國家標(biāo)準(zhǔn) |
ASME B89.1.12M | 美國機(jī)械工程師協(xié)會標(biāo)準(zhǔn) |
NMTBA | 美國機(jī)床協(xié)會標(biāo)準(zhǔn) |
BS 3800 | 英國機(jī)床標(biāo)準(zhǔn) |
BS 4656 | 英國三測機(jī)標(biāo)準(zhǔn) |
JIS B6330 | 日本國家標(biāo)準(zhǔn) |
GB 17421-2000 | 中國國家標(biāo)準(zhǔn) |
VDI 3441 | 德國機(jī)床標(biāo)準(zhǔn) |
2. 技術(shù)指標(biāo)
2.1. 技術(shù)指標(biāo)
系統(tǒng)性能
1、測量方式:單頻
2、穩(wěn)頻精度:0.05ppm
3、動(dòng)態(tài)采集頻率:50 kHz
4、預(yù)熱時(shí)間:5-10分鐘
5、工作溫度范圍:0~40℃
6、環(huán)境溫度范圍:0~40℃
7、存儲溫度范圍:-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
1、空氣溫度傳感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
2、材料溫度傳感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
3、空氣濕度傳感器:±6% (0-95%)
4、大氣壓力傳感器:±1mBar (650-1150mbar)
線性測量
1、測量距離:0-40m
2、測量精度:0.5ppm (0-40℃)
3、測量分辨率:1nm
4、測量大速度:4m/sec
角度測量
1、軸向量程:0-15m
2、測量范圍:±10°
3、測量精度:±0.6%R±0.5±0.1M μm/m(M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離,單位:m)
4、測量分辨率:0.1μm/m
直線度測量
1、軸向量程:0.1-4.0 m
2、測量范圍:±2.5 mm
3、測量精度:±0.5% R±0.5±0.15M2 μm(M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離,單位:m)
4、測量分辨率:0.01μm
垂直度測量
1、測量范圍:±3/M mm/m
2、測量精度:±0.5% R±2.5±0.8M μm/m(M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離,單位:m)
3、測量分辨率:0.01μm/m
平面度測量
1、軸向量程:0-15 m
2、測量范圍:±1.5 mm
3、測量精度:±0.6% R±0.02 M2 μm/m(M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離,單位:m)
4、測量分辨率:0.1μm
回轉(zhuǎn)軸分度精度測量
1、角度測量范圍:0-360°
2、精密轉(zhuǎn)臺角度增量:5°
3、精密轉(zhuǎn)臺分度精度:±1秒
4、精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)性:0.2秒
2.2. 尺寸重量與供電
便攜箱尺寸:560×360×250(基礎(chǔ)系統(tǒng)),560×460×270(完整系統(tǒng))
基本重量(含三腳架,包裝):15Kg
供電電源:110~265VAC
3. 系統(tǒng)組件
3.1. 系統(tǒng)組件
1) SJ6000主機(jī):1臺
2) 環(huán)境補(bǔ)償單元:1臺
3) 光學(xué)鏡組:
線性測量光學(xué)鏡組:1套(標(biāo)準(zhǔn)配置)
小型線性光學(xué)鏡組:1套(標(biāo)準(zhǔn)配置)
小角度測量光學(xué)鏡組:1套(選配)
直線度測量光學(xué)鏡組:1套(選配)
垂直度測量光學(xué)鏡組:1套(選配)
平面度測量輔助附件:1套(選配)
回轉(zhuǎn)軸測量精密轉(zhuǎn)臺:1套(選配)
4) 測量軟件:1套
5) 便攜式筆記本電腦:1臺
6) 便攜式儀器配件箱:1個(gè)
7) 通用三腳架:1個(gè)
8) 云臺附件:1套
9) 磁性表座:2套
10) 產(chǎn)品使用說明書:1套
11) 產(chǎn)品合格證、保修卡:1套
12) 免費(fèi)保修:1年