化學蒸汽沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）過程所用腐蝕性氣態和液態前驅體需要不會隨時間推移而被腐蝕的質量流量儀表。ALICAT艾麗卡特S系列（MC、MCES、MCVS）質量流量控制器采用316L不銹鋼材質的流量傳感器和FFKM彈性體，能夠忍受這些嚴酷的元素。

老化質量流量控制器的插入式替代品

適用于反應濺射的快速氧氣流量控制

響應式氣體流量控制，抑制壓力波動

• 多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。

• 連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。

• 耐用。MC系列氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環境影響的耐受性，我們可為您的質量流量控制器構建IP66等級防護。