Alicat質(zhì)量流量控制器助推納米級制造

在過去很多年中，人們對計(jì)算能力的需求不斷增長，導(dǎo)致電子產(chǎn)品的復(fù)雜性和產(chǎn)量都呈指數(shù)級增長。納米級制造的高成本和高靈活性已成為開發(fā)創(chuàng)新產(chǎn)品的主要障礙。超低成本、高性能制造工具的新穎平臺通過將先進(jìn)的處理能力與大尺寸的基板分離，從而消除了這一障礙。使用較小的基板也可以提高性能，并優(yōu)于現(xiàn)有的商用工具。一直致力于完善和擴(kuò)展其微細(xì)加工和納米加工能力，并不斷尋找可以幫助實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)的新技術(shù)。Alicat半導(dǎo)體壓力控制器和MFC系列質(zhì)量流量控制器提供了一個(gè)性能、可靠性和價(jià)格之間無需折衷的解決方案，這使其成為納米級制造系統(tǒng)的氣體控制必要組成部分。

Alicat為這一挑戰(zhàn)提供了的準(zhǔn)確性、響應(yīng)能力和控制氣體流量需求。Alicat半導(dǎo)體壓力控制器和MFC系列質(zhì)量流量控制器提供了一個(gè)性能、可靠性和價(jià)格之間無需折衷的解決方案，這使其成為納米級制造系統(tǒng)的氣體控制必要組成部分。

Alicat半導(dǎo)體MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用了層流差壓(DP)技術(shù)，可同時(shí)測量98種氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，并進(jìn)行全溫度和壓力補(bǔ)償。MCE系列控制器低至0-0.5sccm、高至0-20 slpm、控制響應(yīng)時(shí)間為50-100毫秒。Alicat質(zhì)量流量控制器以驚人的精度和響應(yīng)時(shí)間大大提高實(shí)驗(yàn)質(zhì)量。