熱式氣體質量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。熱式氣體質量流量計典型傳感元件包括兩個熱電阻（PT100），一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。
當熱式氣體質量流量計兩個熱電阻被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。流經速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速加，介質帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質的流速成正比。
熱式氣體質量流量計適用場所：
1.石油化工行業
應用場合：火炬氣排放監控 。
產品優點：寬量程比，傳感器不易堵塞，可在線插拔清洗，適用氣體廣泛 。
2.電力行業
應用場合：鍋爐一次風、二次風、磨煤風的風量測量。
產品優點：安裝簡便，無直管段要求，低壓力損失，無需溫壓補償，可在苛刻的條件下使用(如：空氣中 含有粉塵、顆粒、磨損嚴重、低壓力等)。
3.冶金行業
應用場合：高爐煤氣、焦爐煤氣測量。
產品優點：按實際介質組份標定，可對組份變化進行修正，可在線清洗傳感器，插入長度可任意調整。
4.電子行業
應用場合：高純度氣體質量流量測量。
產品優點：無需溫壓補償直接測量質量流量，傳感頭經過高度拋光，可用于貿易結算。
5.供暖通風和空調系統(HVAC)
產品優點：產品反應靈敏、運行可靠，對安裝直管段無嚴格要求。
6.水處理行業
應用場合：測量曝氣池的空氣流量。
產品優點：耐臟、耐塵，真正無壓降，現場安裝簡便。
7.食品行業
應用場合：向反應器中通入適量氣體，控制過程及質量 。
產品優點：衛生級3A，高純凈度，所有接液表面采用不銹鋼，寬量程比。
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