河南諾巴迪材料科技有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地鄭州市
聯(lián)系方式：張帥鋒查看聯(lián)系方式
更新時間：2023-07-29 07:44:11瀏覽次數(shù)：156次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)雙爐膛滑軌式PECVD
| | 設備簡介： 雙溫區(qū)的PECVD管式爐系統(tǒng)，組成部分為500W的射頻發(fā)生器、可定位的獨立滑動式燒結(jié)爐、高精度質(zhì)量流量混合系統(tǒng)、穩(wěn)定防反油真空系統(tǒng)。此款PECVD可用于生長納米線或用CVD方法來制作各種薄膜。 | |||
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配置詳情
| | 1. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染； 2. 上開啟式結(jié)構(gòu)，方便觀察試樣； 3. 產(chǎn)品采用全自動控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示； 4. 可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果； 5. 穩(wěn)定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質(zhì)量； | |||||||
| 產(chǎn)品型號 | NBD-PECVD1200-50IIT | |||||||
| 電氣規(guī)格 | AC220V 3KW 射頻功率：300或500瓦 13.56Mhz | |||||||
| 可達溫度 | 1200 ℃ （<1小時） | |||||||
| 連續(xù)溫度 | 1100 ℃ （連續(xù)） | |||||||
| 可達加熱速率 | ≤ 20 ℃/分鐘 | |||||||
| 加熱區(qū)長度 | 200mm+200mm（兩個加熱溫區(qū)分別加熱，分體式設計使溫度梯度可以達到極限） | |||||||
| 爐管尺寸 | Φ50*1800mm | |||||||
| 射頻線圈 | | 采用多節(jié)點鍍銀的水冷銅線圈，可匹配不同頻率的射頻電源 | ||||||
| 控制系統(tǒng) | | 1.可預存15條溫度曲線，避免不同的實驗工藝重復設置帶來的麻煩； 2.實驗過程更加直觀，操作更加便捷； 3.可另選配無線控制模塊，實現(xiàn)遠程操控； 4.具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等。 | ||||||
| 溫度精度 | +/- 1 ℃ | |||||||
| 加熱元件 | | Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金 | ||||||
| 密封系統(tǒng) | | | ||||||
| 真空度：≤10Pa（機械泵），達到啟輝條件。 | ||||||||
| 壓力測量與監(jiān)控 | | 采用數(shù)顯真空計可直觀顯示設備的真空度，實驗數(shù)據(jù)及效果更加準確。 | ||||||
| 供氣系統(tǒng) | | 采用質(zhì)量流量計控制，與設備一體化，方便控制，出廠前已進行漏氣測試工作 | ||||||
| 凈重 | 100KG | |||||||
| 設備使用注意事項 | 1. 設備爐膛溫度≥300℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害； 2. 設備使用時，爐管內(nèi)壓力不得超過0.125MPa（壓力），以防止壓力過大沖開密封法蘭； 3. 高真空下使用時（10的負3次方Pa），設備使用溫度不得超過800℃。 | |||||||
| 服務支持 | 1年有限保修，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如爐管和O形圈等） | |||||||
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