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CVD系統(tǒng)T1700-XITG2Z

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更新時間：2023-07-29 07:28:34瀏覽次數(shù)：116次

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河南諾巴迪材料科技有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：272條

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產(chǎn)品簡介

化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)保科學(xué)等領(lǐng)域；

詳細(xì)介紹

設(shè)備簡介：

化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)保科學(xué)等領(lǐng)域；

配置詳情

	NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式，非線性式樣溫度修正；
產(chǎn)品型號	CVDT1700-50ITG2Z		CVD T1700-60ITG2Z				CVD T1700-80ITG2Z
爐管尺寸	Φ50*1000mm	Φ60*1000mm				Φ80*1000mm
工作溫度	≤1650℃
加熱區(qū)尺寸	310mm
升溫速率	≤20℃/min
電氣規(guī)格	AC 220V 4.5KW
氣體系統(tǒng)（可選購）	流量計類型	浮子流量計				質(zhì)量流量計
	管道示意圖
	進氣接口數(shù)量	2、3、4（多路可選）
	流量范圍	20-250/20-800ml/min(多量程可選)				50/100/200sccm(多量程可選)
	工作壓差范圍	0-0.15MPa
低真空系統(tǒng)（可選購）	真空泵型號		NBD-1.5C	NBD-3C				NBD-4C
	抽氣速率		1L/s	3L/s				4L/s
	進排氣口尺寸		Φ8mm寶塔接頭	Φ8mm寶塔接頭				KF16/25
	極限壓力		1000Pa	100Pa				10Pa
	工作溫度		5-40℃
	電氣規(guī)格		AC220V
高真空系統(tǒng)（可選購）	真空泵型號		NBD-103(A)	NBD-103(B)				NBD-103(C)
	抽氣速率		110L/s	600L/s				700L/s
	真空測量計		復(fù)合真空計
	極限壓力		10^-3Pa	10^-4Pa				10^-5Pa
	工作溫度	5-40℃
	電氣規(guī)格	AC 220V			AC 220V				AC 380V
* 支持非標(biāo)定做，更多型號，歡迎來電垂詢

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