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行業(yè)產(chǎn)品

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河南諾巴迪材料科技有限公司


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CVD系統(tǒng)HR1200-110ITD3F

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地鄭州市

聯(lián)系方式:張帥鋒查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2023-07-24 07:26:43瀏覽次數(shù):99次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:272條

所在地區(qū):河南鄭州市

聯(lián)系人:張帥鋒 (銷售經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng),適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)保科學(xué)等領(lǐng)域。

詳細(xì)介紹

設(shè)備簡(jiǎn)介:

化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng),適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)保科學(xué)等領(lǐng)域。







配置詳情

NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機(jī)對(duì)話模式,非線性式樣溫度修正;

產(chǎn)品型號(hào)

NBD-HR1200-110IT

工作溫度

≤1100℃

加熱區(qū)尺寸

200mm

升溫速率

≤100℃/s

電氣規(guī)格

AC 380V 15KW

氣體系統(tǒng)(可選購)

流量計(jì)類型

浮子流量計(jì)

質(zhì)量流量計(jì)

管道示意圖

進(jìn)氣接口數(shù)量

2、3、4(多路可選)

流量范圍

20-250/20-800ml/min(多量程可選)

50/100/200sccm(多量程可選)

工作壓差范圍

0-0.15MPa

低真空系統(tǒng)(可選購)

真空泵型號(hào)

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽氣速率

1L/s

3L/s

4L/s

進(jìn)排氣口尺寸

Φ8mm寶塔接頭

Φ8mm寶塔接頭

KF16/25

極限壓力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC220V

高真空系統(tǒng)(可選購)

真空泵型號(hào)

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽氣速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空測(cè)量計(jì)

復(fù)合真空計(jì)

極限壓力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC 220V

AC 220V

AC 380V

* 支持非標(biāo)定做,更多型號(hào),歡迎來電垂詢


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