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遠源等離子濺射系統

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產品型號

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地鄭州市

聯系方式：張帥鋒查看聯系方式

更新時間：2023-07-17 07:44:11瀏覽次數：107次

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經營模式：生產廠家

商鋪產品：272條

所在地區：河南鄭州市

聯系人：張帥鋒 （銷售經理）

產品簡介

遠源等離子濺射系統

詳細介紹

遠源等離子濺射系統不同與射頻磁控濺射系統，它是通過靶材遠處產生高密度等離子體完成濺射的。等離子體經PLS出口的發射電磁線圈放大，并由匯聚線圈完成等離子方向的匯聚與控制，覆蓋靶材表面。靶面通過施加負偏壓，在表面形成高密度電流，靶材得到均勻的刻蝕，相對于常規磁控濺射，減少了靶中毒的現象，對非金屬薄膜提高了沉積速率。同時可在靶材上施加直流偏壓，用于濺射絕緣靶材。




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