河南諾巴迪材料科技有限公司
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1200℃CVD一體機
| | 設備簡介： NBD-CVD1200系列一體機采用制造工藝，從美學藝術角度出發根據人體安全的角度設計，控制系統采用*的PLC+觸摸屏操控系統，操作更加簡單方便。溫度控制采用*的PID模糊控制，使控溫精度保持在±1℃。適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等試驗。 | ||
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| | 1.爐體與控制系統集成一體化，使試驗方便快捷直觀。 2.配有多路質量流量計混氣氣路，可以單獨設置氣體流量。 3.精確PID程序多段控制，實現不同工藝多段溫度時間監控。 4.爐襯采用高純氧化鋁輕質纖維材料，保溫效果。 5.配備機械泵和分子真空泵，可以實現高真空條件。 | ||||||||||||
| 產品型號 | NBD-CVDO1200 | ||||||||||||
| 爐管直徑 | Φ50、φ60、φ80、φ100 (可自選) | ||||||||||||
| 工作溫度 | ≤1100℃ | ||||||||||||
| 溫區選擇 | 單溫區 | 雙溫區 | 三溫區 | ||||||||||
| 加熱區尺寸 | 440mm | 200mm + 200mm | 200mm + 400mm + 200mm | ||||||||||
| 電器規格 | AC220V 4KW | AC220V 5KW | AC220V 8KW | ||||||||||
| 升溫速率 | 建議 10℃/min | ||||||||||||
| 控制系統 | | ||||||||||||
| 氣體系統（可選購） | 流量計類型 | 浮子流量計 | 質量流量計 | ||||||||||
| 管道示意圖 | | | |||||||||||
| 進氣接口數量 | 2、3、4（多路可選） | ||||||||||||
| 流量范圍 | 20-250/20-800ml/min(多量程可選) | 50/100/200sccm(多量程可選) | |||||||||||
| 工作壓差范圍 | 0-0.15MPa | ||||||||||||
| 低真空系統（可選購） | 真空泵型號 | NBD-1.5C | NBD-3C | NBD-4C | |||||||||
| 抽氣速率 | 1L/s | 3L/s | 4L/s | ||||||||||
| 進排氣口尺寸 | Φ8mm寶塔接頭 | Φ8mm寶塔接頭 | KF16/25 | ||||||||||
| 極限壓力 | 1000Pa | 100Pa | 10Pa | ||||||||||
| 工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||||||
| 電氣規格 | AC220V | ||||||||||||
| 高真空系統（可選購） | 真空泵型號 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | NBD-103(C) | |||||||||
| 抽氣速率 | 110L/s | 600L/s | 700L/s | ||||||||||
| 真空測量計 | 復合真空計 | ||||||||||||
| 極限壓力 | 10^-3Pa | 10^-4Pa | 10^-5Pa | ||||||||||
| 工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||||||
| 電氣規格 | AC 220V | AC 220V | AC 380V | ||||||||||
| * 支持非標定做，更多型號，歡迎來電垂詢 | |||||||||||||
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