河南諾巴迪材料科技有限公司
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為滿足各類CVD工藝的要求，我們將多個溫區的控制儀表全部融合到了智能控制系統里，您只需通過輕輕點擊觸摸屏即可完成所有的參數設定。在滿足不同溫區梯度控制的同時，還可將多個溫區設定為同一溫度點，作為加長的單溫區使用。它延續了開啟式管式爐的經典設計，美觀與實用同在！
| | 設備簡介： 為滿足各類CVD工藝的要求，我們將多個溫區的控制儀表全部融合到了智能控制系統里，您只需通過輕輕點擊觸摸屏即可完成所有的參數設定。在滿足不同溫區梯度控制的同時，還可將多個溫區設定為同一溫度點，作為加長的單溫區使用。它延續了開啟式管式爐的經典設計，美觀與實用同在！ | |||
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配置詳情
| | 1. 雙層鋼結構； 2. 高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，節約能源； 3. 耐火陶瓷上的高純度氧化鋁涂層可延長使用壽命； 4. 氧化鋁管塞可幫助您在管內建立自定義的溫度梯度。 | |||||||||
| 產品型號 | NBD-O1200-50IIT | NBD-O1200-60IIT | NBD-O1200-80IIT | NBD-O1200-100IIT | ||||||
| 電氣規格 | AC220V 2KW*2 | |||||||||
| 可達溫度極限 | 1200 ℃ （<1小時） | |||||||||
| 連續溫度 | 1100 ℃ （連續） | |||||||||
| 可達加熱速率 | ≤ 20 ℃/分鐘 | |||||||||
| 加熱區長度 | 200mm*2（雙溫雙控：每個溫區均可獨立運行） | |||||||||
| 爐管尺寸 | Φ50*1000mm | Φ60*1000mm | Φ80*1000mm | Φ100*1000mm | ||||||
| 溫場分布 | | 如圖所示：此為該設備溫區曲線圖（恒溫區尺寸：100mm*2） | ||||||||
| 控制系統 | | 1.可預存15條溫度曲線，避免不同的實驗工藝重復設置帶來的麻煩； 2.實驗過程更加直觀，操作更加便捷； 3.NBD-101E嵌入式操作系統中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式，非線性式樣溫度修正； 4.具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等功能。 | ||||||||
| 溫度精度 | +/- 1 ℃ | |||||||||
| 加熱元件 | | Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金 | ||||||||
| 密封系統 | | | | |||||||
| 真空度：≤10Pa（機械泵） | ||||||||||
| CVD實驗原理 | | 采用雙溫區結構，通過對每個溫區單獨控制，可以營造不同的溫度梯度，便于各種CVD實驗。 | ||||||||
| 供氣系統 | | 采用浮子流量計控制氣體流速，與設備一體化，方便控制，且出廠前已進行漏氣測試工作。 | ||||||||
| 凈重 | 60KG | |||||||||
| 設備使用注意事項 |
1. 設備爐膛溫度≥300℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害； 2. 設備使用時，爐管內壓力不得超過0.125MPa（壓力），以防止壓力過大造成設備損壞； 3. 真空下使用時，設備使用溫度不得超過800℃。
4. 供氣鋼瓶內部氣壓較高，向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在選購試驗用小壓力減壓閥，減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時會更加精確安全。 5.當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態； 6.高純石英管的長時間使用溫度≦1100℃ 7.加熱的實驗時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，壓力表讀數不要大于0.15MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
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| 服務支持 | 1年質保，提供終身支持（保修范圍內不包括易耗部件，例如爐管和O形圈等） | |||||||||
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