河南諾巴迪材料科技有限公司
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化學氣相沉積CVD一體機
| | 設備簡介： 化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法，是半導體工業中應用廣泛的用來沉積薄膜材料的技術，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發成套的CVD鍍膜系統，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環保科學等領域； | ||
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技術參數：
| | 系統描述 | ||||||||
| 產品型號 | NBD-T1700-80IT（G3Z） | ||||||||
| 工作溫度 | ≤1650℃ | ||||||||
| 加熱區尺寸 | 310mm | ||||||||
| 恒溫區尺寸 | 220mm | ||||||||
| 升溫速率 | ≤20℃/min | ||||||||
| 電氣規格 | AC 220V 4.5KW | ||||||||
| 控制系統 | | ||||||||
| 氣體系統（可選購） | 流量計類型 | 浮子流量計 | 質量流量計 | ||||||
| 管道示意圖 | | | |||||||
| 進氣接口數量 | 2、3、4（多路可選） | ||||||||
| 流量范圍 | 20-200/60-600l/min(多量程可選) | 50/100/200sccm(多量程可選) | |||||||
| 工作壓差范圍 | 0-0.15MPa | ||||||||
| 低真空系統（可選購） | 真空泵型號 | NBD-1.5C | NBD-3C | NBD-4C | |||||
| 抽氣速率 | 1L/s | 3L/s | 4L/s | ||||||
| 進排氣口尺寸 | Φ8mm寶塔接頭 | Φ8mm寶塔接頭 | KF16/25 | ||||||
| 極限壓力 | 1000Pa | 100Pa | 10Pa | ||||||
| 工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||
| 電氣規格 | AC220V | ||||||||
| 分子泵高真空系統 （可選購） | 分子泵系統型號 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | NBD-103(C) | |||||
| 抽氣速率 | 110L/s | 600L/s | 700L/s | ||||||
| 真空測量計 | 復合真空計 | ||||||||
| 極限壓力 | 10^-3Pa | 10^-4Pa | 10^-5Pa | ||||||
| 工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||
| 電氣規格 | AC 220V | AC 220V | AC 380V | ||||||
| * 支持非標定做，更多型號，歡迎來電垂詢 | |||||||||
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