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祝賀東莞市人民醫院定制PECVD順利交付使用

閱讀：53發布時間：2023-7-4

2023年3月27日，我司為東莞市人民醫院（南方醫科大學附屬醫院）定制的智能PECVD系統順利交付使用。

PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)可以生產出僅靠普通 CVD 技術無法產生的化合物和薄膜，并生產出具有耐溶劑性和耐腐蝕性以及化學和熱穩定性的薄膜，廣泛用于半導體工業制造集成電路，在光伏、摩擦學、光學和生物醫學領域也有許多應用。

在生物醫學領域，通過生產純度的致密惰性涂層，PECVD 在醫療植入物研究方面也具重要應用作用。
東莞市人民醫院始建于1888年，是一家集醫療、教學、科研及預防保健為一體的大型綜合性三級甲等醫院。2021年3月，醫院入選廣東省高水平醫院重點建設醫院。為加大生物醫學研究力度，東莞市人民醫院轉化醫學研究中心通過公開競標和綜合評估，選定我司為其研究項目提供定制PECVD系統。
該PECVD系統由RF射頻系統、氣體質量流量控制系統、襯底控溫系統、真空系統組成，采用集中總線控制技術的諾巴迪智能人機交互觸控系統，確保實驗過程的便捷、直觀、高效。

通過我司售后技術人員的培訓交接，得到了現場驗收及操作人員的充分肯定，設備順利通過驗收。


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