水下γ能譜儀是一種分析物質元素的儀器，常與掃描電鏡或者透射電鏡聯用，在真空室下用電子束轟擊樣品表面，激發物質發射出特征x射線，根據特征x射線的波長，定性與半定量分析元素周期表中B－U的元素，EDS可提供樣品表面之微區定性或半定量之成份元素分析，以及特定區域之point、linescan、mapping分析。
水下γ能譜儀活度測量功能，配置的能譜分析程序具有重峰解析功能，且內置不同能量射線的探測效率曲線（考慮飽和體積），定量測量水中放射性。活度測量功能，配置的能譜分析程序具有重峰解析功能，且內置不同能量射線的探測效率曲線（考慮飽和體積），定量測量水中放射性。
EDS的分析方式有點分析、線分析和面分析；點分析得到一點的所有元素；線分析每次對的一條線做一種元素分析，多次掃描得到所有元素的線分布；面分析對一個面內的所有元素分析，測得元素含量是測量面范圍的平均值；
瀑布圖與能譜耦合測量活度功能，選取瀑布圖上異常的時間段，可以獲得該時間段內的累積譜，然后進行能譜分析，計算活度；在地圖或者海圖上顯示劑量率等測量結果；放射性活度隨時間變化連續顯示；定制數據數據通信鏈路、數據遠程傳輸模式；數據就地存儲、回放功能。
X射線的自然寬度對譜儀的分辨率影響很大，為了提高譜儀的分辨率就要使X射線單色化，大大減小X射線的譜線寬度。X射線的單色性越高，譜儀的能量分辨率也越高。
紫外光電子能譜儀中使用的高強度單色紫外線源常用稀有氣體的放電共振燈提供。電子槍的關鍵部件是電子源和用于電子束聚焦、整形和掃描的透鏡組件。電子源可用熱電離發射或場發射。
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