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高頻壓力傳感器的工作原理

時間：2024/5/15閱讀：598
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高頻壓力傳感器是一種能夠測量高速變化的壓力信號的傳感器。它有多種類型和結構，其中一種常見的是MEMS壓力傳感器。

它的工作原理是：

壓力傳感器利用壓阻效應原理，即當材料受到應力時，其電阻值會發生變化；

壓力傳感器采用三維集成電路工藝，在單晶硅片薄膜上制成四個應變電阻，構成一個惠斯通檢測電橋；

當被測介質施加壓力時，橋壁電阻值發生變化，產生一個差動電壓信號；

這個信號經專用放大和濾波處理后，輸出一個與壓力成正比的模擬或數字信號。

壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應速度快、靈敏度高等特點，適用于汽車、航空、醫療等領域的高頻動態壓力測量。

CY400高頻壓力傳感器.jpg



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