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12英寸晶圓輪廓儀

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更新時(shí)間：2024-05-03 07:51:03瀏覽次數(shù)：233次

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孚光精儀（中國(guó)）有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

12英寸晶圓輪廓儀是為半導(dǎo)體晶圓形貌測(cè)量設(shè)計(jì)的多功能晶圓形貌儀器，集成光學(xué)傳感器,實(shí)現(xiàn)無接觸地測(cè)量樣本

詳細(xì)介紹

12英寸晶圓輪廓儀是為半導(dǎo)體晶圓形貌測(cè)量設(shè)計(jì)的多功能晶圓形貌儀器，集成光學(xué)傳感器,實(shí)現(xiàn)無接觸地測(cè)量樣本。
12英寸晶圓輪廓儀為半導(dǎo)體應(yīng)用而開發(fā)，適用于12''晶圓檢查,具有自對(duì)準(zhǔn)功能
12英寸晶圓輪廓儀已應(yīng)用于雕刻測(cè)量、紋理、拋光或微結(jié)構(gòu)表面狀態(tài)，尤其是在半導(dǎo)體晶圓的形貌測(cè)量。
**技術(shù)
彩色共焦
可見光和紅外干涉測(cè)量
激光三角測(cè)量
所有表面均可測(cè)量（粗糙的,透明的，拋光的表面等）

12英寸晶圓輪廓儀規(guī)格參數(shù)
XYZ行程范圍：300mm x 300mm x 100mm
***大速度：40mm/s
軸向平整度： <5u/300mm
軸向分辨率：0.062um
測(cè)量傳感器：非接觸式共聚焦傳感器
測(cè)量范圍：100um-25mm
Z軸分辨率：可達(dá)3nm
橫向分辨率：0.9um
臺(tái)階高度測(cè)量：0.005%
粗糙度測(cè)量Ra/Sa: 20nm/20nm
***小測(cè)量厚度：4um

關(guān)鍵詞：輪廓儀傳感器

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