孚光精儀（中國）有限公司
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高功率飛秒激光器系統是為飛秒激光微加工和EUV生成設計的高功率飛秒激光器系統,以高脈沖能量和飛秒脈沖持續時間重新定義了超快微加工和EUV生成
| 型號 | Black Dwarf 200 | Black Dwarf Pro-300 | Black Dwarf Pro-500 | Black Dwarf Ultra-1500 |
|---|---|---|---|---|
| 脈寬 (FWHM) | 35 fs | 25 fs | 25 fs | 25 fs |
| 中心波長 | 1030 nm | 1030 nm | 1030 nm | 1030 nm |
| 脈沖能量 (壓縮) | 45-200 µJ | 0.3 mJ | 0.5 mJ | 0.5 – 1.5 mJ |
| 平均功率 | 60 W | 30 W | 50 W | 60 W |
| 重復頻率 | Up to 2000 kHz | 100 kHz | 100 kHz | 40 kHz |
| 光束質量 | M² <1.3 | M² <1.3 | M² <1.3 | M² <1.3 |
| 功率穩定性 (std.-dev., over 12 h) | <0.5% | <0.5% | <0.5% | <0.5% |
| 尺寸(激光器頭部) | 1200 x 800 mm² | 1200 x 800 mm² | 1200 x 800 mm² | 1200 x 800 mm² |
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