孚光精儀（中國）有限公司
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電鏡原位等離子體清潔器EM-KLEEN可用于電子顯微鏡和分析儀器（如SEM、FIB、TEM、XPS和SIMS）的樣品和真空室的原位清潔
電鏡原位等離子體清潔器EM-KLEEN可用于電子顯微鏡和分析儀器（如SEM、FIB、TEM、XPS和SIMS）的樣品和真空室的原位清潔。它可以有效去除高真空或超高真空室內的碳氫化合物和氟碳化合物污染，提高***終真空水平，減少泵停機時間。它還可以在表面成像和分析之前去除樣品表面的有機污染物。
電鏡原位等離子體清潔器由一個帶嵌入式微型計算機的電阻式LCD觸摸屏控制器和一個遠程等離子體源組成。應在待清潔的真空室上安裝遠程等離子體源。標準真空接口端口為NW/KF40法蘭。可提供用于不同SEM端口的適配器。還提供CF2.75〃法蘭選項。
電鏡原位等離子體清潔器EM-KLEEN是一種全自動等離子體源。設計直觀，用途廣泛。盡管EM-KLEEN遠程等離子體源體積小，但它集成了Pirani壓力傳感器、電子可變氣體流量控制器、等離子體強度傳感器、溫度傳感器和冷卻風扇。流量控制器自動調節氣體流速，以保持等離子體清潔器室內的配方壓力。該控制器可以存儲多達60個具有不同射頻功率、等離子體管壓力、氣體流速和清潔持續時間的配方。不同配方無需手動調整。微型壓力傳感器不斷監測樣品室的壓力。它可以用作安全操作模式下的安全聯鎖觸發器，并為SmartSchedule計數樣本加載事件™ 特色冷卻風扇可實現高功率高速清潔，而不會導致電源過熱。溫度傳感器提供了另一個聯鎖保護，防止在高功率下長時間清潔時電源過熱。等離子體強度傳感器實時測量等離子體強度。
電鏡原位等離子體清潔器特點
在極低壓力下瞬間點燃等離子體。用戶無需擔心等離子體是否點燃。無需手動調節旋鈕來點燃EM-KLEEN上的等離子體。
帶壓力傳感器反饋控制的電子可變氣體流量控制。用戶可以直接不同的工作壓力源。等離子體清潔器將通過壓力傳感器提供的伺服反饋控制回路自動調節氣流，從而保持設定壓力。
等離子體探針監測等離子體強度，以指導用戶設置***佳配方。***佳氣體流量可以隨著不同的系統泵送速度和腔室尺寸而變化。我們的等離子體清潔器為用戶提供了以電子方式改變氣流的自由度，并根據等離子體強度傳感器的反饋*化源壓力
0-75瓦射頻功率，頻率為13.56MHz。射頻功率可按1瓦間隔調整。
帶有觸摸屏用戶界面的微型計算機。
直觀的遠程PC通過RS232/RS485協議控制用戶界面。
智能“安全操作模式”和“專家操作模式”，帶有用戶自定義的警告信息。如果許多沒有經驗的用戶共享電子或離子顯微鏡，這是一個非常有用的功能。
微型計算機上可自定義的SmartScheule功能可以自主管理您的系統。
支持60種可定制的配方，具有不同的射頻功率瓦數、等離子體管壓力、氣體流速和清潔持續時間。
主動風扇冷卻，實現高功率高速清潔。
易于攜帶的控制器。該系統可以很容易地在不同的系統之間移動。
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