孚光精儀（中國）有限公司
孚光精儀（中國）有限公司
3D光學輪廓儀是具有白光干涉和相移干涉技術的表面形貌儀,具有高掃描速度,垂直分辨率高達亞納米0.1nm,從而具有三維臺階儀功能
高可追溯性和重復精度
通過美國國家標準與技術研究院認證的超大規模集成電路步長標準樣品進行校準。實現的精度和作為高度測量系統的可重復精度。
光學輪廓儀的臺階高度測量功能
**的軟件
給出臺階高度,粗糙度并進行3D數據分析
圖像縫合功能
表面形貌分析
表面顏色和強度分析
灰度圖像,二進制圖像,彩色圖像分析
高光譜圖像分析
3D粗糙度分析
3D光學輪廓儀規格參數
| 型號 | NV-1800 | NV-2400 | NV-2700 | NV-3200 |
| 測量技術 | 白光干涉/移相干涉 | 白光干涉/移相干涉 | 白光干涉/移相干涉 | 白光干涉/移相干涉 |
| FOV鏡頭 | 1x | 1x | 4位電動物鏡塔臺 | 4位電動物鏡塔臺 |
| 干涉物鏡 | 單鏡頭 | 5鏡頭（手動） | 5鏡頭（電動） | 5鏡頭（電動） |
| 照明 | 白光LED照明 | 白光LED照明 | 白光LED照明 | 白光LED照明 |
| 掃描范圍 | <=270um | <=270um | <=270um | <=270um |
| 掃描速度 | 7.2微米/秒 | 12微米/秒 | 12微米/秒 | 12微米/秒 |
| Tip/tilt | +/-3度（位移臺tip/tilt） | 探針+/-6度手動傾斜 | 探針+/-6度電動傾斜 | 探針+/-6度電動傾斜 |
| 垂直分辨率 | 白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm | 白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm | 白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm | 白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm |
| 橫向分辨率 | 0.2~4um | 0.2~4um | 0.2~4um | 0.2~4um |
| 臺階高度重復精度 | 0.2%@1sigma | 0.1%@1sigma | 0.1%@1sigma | 0.1%@1sigma |
| XY行程 | 70x50mm手動 | 100x100mm電動 | 100x100mm電動 | 300x300mm電動 |
| Z行程 | 30mm手動 | 100mm手動 | 100mm電動 | 100mm電動 |
| 位移臺尺寸 | 90x90mm | 230x230mm | 230x230mm | 445x445mm |
| FOV鏡頭可選 | 0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x | 0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x | 0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x | 0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x |
| 干涉鏡頭可選 | 2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x | 2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x | 2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x | 2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x |
儀表網 設計制作，未經允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
