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213nm/205nm深紫外激光器

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更新時(shí)間：2023-03-30 11:14:04瀏覽次數(shù)：195次

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孚光精儀（中國(guó)）有限公司

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213nm/205nm深紫外激光器是穩(wěn)定型連續(xù)波DUV深紫外激光器,基于已有20多年歷史的深紫外DUV波長(zhǎng)205nm-400nm連續(xù)波CW單頻波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換激光器技術(shù)

詳細(xì)介紹

213nm/205nm深紫外激光器是穩(wěn)定型連續(xù)波DUV深紫外激光器,基于已有20多年歷史的深紫外DUV波長(zhǎng)205nm-400nm連續(xù)波CW單頻波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換激光器技術(shù)。通過(guò)266nm激光器開發(fā)的非線性晶體和伺服鎖定技術(shù)能夠產(chǎn)生穩(wěn)定且長(zhǎng)壽命的連續(xù)激光發(fā)射。根據(jù)您的需要，孚光精儀公司可以提出各種波長(zhǎng)的連續(xù)激光器。
213nm/205nm深紫外激光器特點(diǎn)
高可靠性非線性光學(xué)晶體
根據(jù)激光波長(zhǎng)的不同，我們可以提出最合適的非線性波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換晶體。例如BBO晶體可以在266nm和1W輸出功率下提供超過(guò)3000小時(shí)的單點(diǎn)壽命。此外，晶體的微小劣化確保了長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)。
精密伺服鎖技術(shù)
的高速、高精度音圈電機(jī)（VCM）伺服驅(qū)動(dòng)器提供穩(wěn)定的連續(xù)激光運(yùn)動(dòng)。
213nm/205nm深紫外激光器規(guī)格參數(shù)

型號(hào)	Frequad-*	Frequad-W
波長(zhǎng)	400…205 nm	213 nm
輸出功率	** W	10 mW
線寬	< 0.005 pm	< 0.005 pm
消光比	> 100:1	> 100:1
光束質(zhì)量	TEM₀₀	TEM₀₀
偏振	豎直, 線偏振	Vertical, Linear
供電要求	AC 100-240V, 50/60Hz	AC 100-240V, 50/60Hz
功耗	< 340 W	< 300 W
制冷	**	空氣制冷
尺寸	**	240 x 840 x 160 mm