孚光精儀（中國）有限公司
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這款專業手動探針臺是專業為晶圓測試設計的晶圓測試探針臺,可滿足8英寸和12英寸晶圓測試需要,工作溫度-60℃~350℃,特別適合晶圓高溫和低溫環境下溫度特性測試
這款專業手動探針臺是專業為晶圓測試設計的晶圓測試探針臺,可滿足8英寸和12英寸晶圓測試需要,工作溫度-60℃~350℃,特別適合晶圓高溫和低溫環境下溫度特性測試。
專業手動探針臺特點
可選擇8''晶圓和12''晶圓配置
工作溫度-60℃~350℃
可配備護罩，防止露水凝結
可配備護罩，提供較低噪音環境
使用空氣快速定位的測微計進行粗略移動和微調
壓盤的Z運動有粗運動和細運動，粗運動可以用杠桿操作可以用千分尺調整。
專業手動探針臺應用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探針測試：20KV DC/200A
RF測試
各種電阻測量，如sheet電阻測量
高溫和低溫環境下的溫度特性測試
可靠性測試，如TDDB
專業手動探針臺可選配件
Thermal chuck from -60°C to +350°C
探針卡（4.5''方形PCB板）
各種光源
三目顯微鏡（標配體視顯微鏡）
CCD相機
專業手動探針臺可以連接配合的測試儀器
設備分析儀/參數分析儀
功率器件分析儀
源度量單位
曲線跟蹤器
精密LCR儀表
數字萬用表
阻抗分析儀
網絡分析器
專業手動探針臺規格參數
| 型號 | α200CS | α300CS |
| 晶圓卡片尺寸 | ~8英寸 | ~12英寸 |
| 位移臺行程（粗調） | X:200mm, Y:200mm | X:320mm, Y:320mm |
| 位移臺行程（精調） | X：±12.5㎜ Y：±12.5㎜ | X：±12.5㎜ Y：±12.5㎜ |
| 位移臺Theta角范圍 | ±5° | ±4° |
| Z軸位移臺行程 | 0-0.3-0.5mm | 0-0.3-0.5mm |
| Z軸位移臺行程（精調） | 10mm | 10mm |
| 尺寸 | W690×D780×H620㎜ | W965×D930×H700㎜ |
| 重量 | 80kg | 165kg |
專業手動探針臺應用
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