當(dāng)前位置：孚光精儀（中國(guó)）有限公司>>光學(xué)測(cè)量系列>>大型科研級(jí)手動(dòng)探針臺(tái)

大型科研級(jí)手動(dòng)探針臺(tái)

返回列表頁(yè)

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)FPDCO-D14

品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品

聯(lián)系方式：陳小姐查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2021-08-19 12:59:20瀏覽次數(shù)：94次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自儀表網(wǎng)

產(chǎn)品分類 品牌分類

  光學(xué)測(cè)量系列

全部產(chǎn)品列表

暫無(wú)信息

孚光精儀（中國(guó)）有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：1482條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：陳小姐（銷售）

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

這款科研級(jí)大型手動(dòng)探針臺(tái)一款專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)的大型晶圓探針臺(tái)，它可用于高達(dá)14半導(dǎo)體晶圓的測(cè)量，并在范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)XYZ，theta多維控制

詳細(xì)介紹

這款科研級(jí)大型手動(dòng)探針臺(tái)一款專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)的大型晶圓探針臺(tái)，它可用于高達(dá)14''半導(dǎo)體晶圓的測(cè)量，并在范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)XYZ，theta多維控制。這款大型手動(dòng)探針臺(tái)提供一種連續(xù)使用的工具，它可以提供XYZ,Theta的控制，并采用Z軸反向驅(qū)動(dòng)技術(shù)控制Z軸運(yùn)動(dòng)。它的多功能性，*的性價(jià)比和簡(jiǎn)化操作的設(shè)計(jì)是得它成為的手動(dòng)探大型手動(dòng)探針臺(tái)針臺(tái)。

大型手動(dòng)探針臺(tái)特點(diǎn)

最近的若干年中，一些價(jià)格適中，操作方便的探針臺(tái)從笨重而昂貴的探針臺(tái)系列中脫穎而出，成為探針臺(tái)發(fā)展的主流方向。這些新型探針臺(tái)非常方便用戶的使用，極大提高了用戶效能和測(cè)量速度，同時(shí)也為研發(fā)工程師提供了多功能方案。我們?cè)O(shè)計(jì)的這款探針臺(tái)的價(jià)格僅為傳統(tǒng)探針價(jià)格的2/3, 為客戶提供了操作簡(jiǎn)單的手動(dòng)探針臺(tái)方案。

Straight-forward use: 這款大型手動(dòng)探針臺(tái)采用直線向前運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)，操作非常簡(jiǎn)單容易，更加方便晶圓裝卸，真空樣品臺(tái)控制，樣品旋轉(zhuǎn)，捆綁探針用于可重復(fù)的圖案化。用戶不需要學(xué)習(xí)軟件，因?yàn)樗捎昧顺Ｒ?jiàn)的顯微鏡取代視頻相機(jī)，用戶直接在視場(chǎng)找到探針就可測(cè)量。

Small Footprint probe station: 這款大型手動(dòng)探針臺(tái)可用于所有實(shí)驗(yàn)室環(huán)境和工藝環(huán)境。它的尺寸是39''長(zhǎng), 26''寬，19.5''高，非常適合空間狹小的測(cè)試環(huán)境，操作人員可距離探針臺(tái)更近操作。

Crucial features to make your job easier: 大型手動(dòng)探針臺(tái)的樣品臺(tái)吸盤可旋轉(zhuǎn)380度而沒(méi)有反沖問(wèn)題，因此樣品臺(tái)真空吸盤可以反過(guò)來(lái)使用也不需要調(diào)整真空。這個(gè)14英寸的樣品真空吸盤可一次性同時(shí)安裝4個(gè)6英寸的晶圓，非常方便各個(gè)晶圓的比較測(cè)量。所有的探針都可定位到14英寸真空吸盤表面的任何位置，這就不需要用戶因?yàn)樘结樜徊蛔銓?dǎo)致的探針樣品再定位問(wèn)題發(fā)生。所有的同心環(huán)真空都是彼此獨(dú)立，這樣就實(shí)現(xiàn)了所有17個(gè)對(duì)角真空控制多個(gè)裝置同時(shí)測(cè)量。
大型手動(dòng)探針臺(tái)的定位器特別設(shè)計(jì)，壓力不會(huì)突發(fā)性地壓著探針沖向樣品。手動(dòng)探針臺(tái)采用了龍門式設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，可以負(fù)載重量更大的樣品。

大型手動(dòng)探針臺(tái)配置

典型的配置包括：D14 探針臺(tái)，真空泵 (vacuum up to 29 in. Hg (31 mbar)，顯微鏡 (Olympus奧林巴斯顯微鏡: 6.7X - 45X放大倍數(shù))其他顯微鏡 (Olympus: 16X – 112X, Olympus: 19X – 135X).

14英寸/(355.6mm) 卡盤
獨(dú)立真空控制3", 6", 8". 10", 12" and (14") 晶圓直徑
17個(gè)獨(dú)立操作真空位置用于校準(zhǔn)標(biāo)定襯底或其它器件
真空致動(dòng)與卡盤真空位置的一對(duì)一關(guān)聯(lián)
探測(cè)探頭獨(dú)立
兩個(gè)獨(dú)立的Z軸升降裝置
無(wú)后沖theta 控制并帶有柄
獨(dú)立的XYZ三軸精調(diào)用于準(zhǔn)直
獨(dú)立的粗調(diào) X, Y, Z, Θ
背部可驅(qū)動(dòng)X控制功能
超低桌面設(shè)計(jì)金6.25英寸高度
占用空間小,長(zhǎng)度x寬僅39x26英