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納米垂直定位臺(tái) 光學(xué)表面分析儀

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產(chǎn)品型號(hào)FPSMA-SHL-3D5N-1

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更新時(shí)間：2022-11-28 09:18:10瀏覽次數(shù)：182次

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孚光精儀（中國）有限公司

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產(chǎn)品簡介

納米垂直定位臺(tái)SHL系列是采用納米編碼器具有高負(fù)載能力的三軸納米定位臺(tái),能夠在Z軸垂直方向精確升降定位,具有不同范圍的負(fù)載

詳細(xì)介紹

納米垂直定位臺(tái)SHL系列是采用納米編碼器具有高負(fù)載能力的三軸納米定位臺(tái),能夠在Z軸垂直方向精確升降定位,具有不同范圍的負(fù)載。
納米垂直定位臺(tái)具有獨(dú)立導(dǎo)軌，確保負(fù)載方向直線運(yùn)動(dòng)。并可以集成多種定位編碼器用于直接位置反饋。
納米垂直定位臺(tái)專業(yè)為垂直升降定位而設(shè)計(jì),可額外裝備恒力彈簧抵消負(fù)載,從而獲得平穩(wěn)的更大負(fù)載值。
納米垂直定位臺(tái)采用納米編碼器可托舉高達(dá)10kg負(fù)重升降數(shù)毫米高度,多軸系統(tǒng)可以在三個(gè)軸向提供更高阻尼力。

納米垂直定位臺(tái)系列規(guī)格參數(shù)

型號(hào)	SHL-1D20N-10	SHL-1D80N-1	SHL-3D5N-1
分辨率	<1nm	<1nm	<1nm
負(fù)載	20N(2kg)	80 N (8 kg)	5 N (500g)
適合真空度	10-11 mbar	10^-11 mbar	10^-11 mbar
行程范圍	10mm（+/-5mm)	1mm	1mm
步進(jìn)	10-300nm	1 – 150 nm	1 – 150 nm
掃描范圍	>500um	> 500 µm	> 500 µm
掃描分辨率	<1nm	< 1 nm	< 1 nm
速度	>5mm/s	> 1 mm/s	>5mm/s
頻率	10KHz	10 kHz	10 kHz
正向力Fn	20N	80N	5N
升力Fl	20N	80N	5N
尺寸2	65 x 75 x 50 mm^3	41 x 86 x 50 mm³	100 x 140 x 40 mm³
重量	400g	340g	650g
Closed-Loop-S 傳感器分辨率1	1nm	1nm	1nm
Closed-Loop-S 重復(fù)精度2	+/-100nm	+/-100nm	+/-100nm
Closed-Loop-L 傳感器分辨率	4nm	4nm	4nm
Closed-Loop-L 閉環(huán)分辨率	+/-500nm(H)CU,4nm MCS	+/-500nm(H)CU,4nm MCS	+/-500nm(H)CU,4nm MCS
Closed-Loop-L 重復(fù)精度	+/-1um(H)CU,+/-200nm MCS	+/-1um(H)CU,+/-200nm MCS	+/-1um(H)CU,+/-200nm MCS